[实用新型]一种镀膜系统

权利要求书

1.一种镀膜系统，其特征在于，所述镀膜系统包括：传输装置、多个工艺腔和相邻两个所述工艺腔之间设有的调温腔；

其中，所述传输装置配置为将基板运输至所述工艺腔和所述调温腔内；

每个所述工艺腔配置为通入各自对应的工艺气体以对所述基板进行镀膜；

所述调温腔配置为将镀膜后的基板调温至下一个工艺腔对应的指定温度。

2.根据权利要求1所述的镀膜系统，其特征在于：所述调温腔为加热腔或第一冷却腔。

3.根据权利要求2所述的镀膜系统，其特征在于：所述加热腔内设有第一匀热板和第一搬运装置，所述第一搬运装置用于将所述传输装置上的工件搬运到所述第一匀热板上，或将所述第一匀热板上的工件搬运到所述传输装置上。

4.根据权利要求3所述的镀膜系统，其特征在于：所述第一搬运装置包括第一顶针机构和第一驱动机构，所述第一匀热板安装在所述加热腔的下部，所述第一顶针机构包括第一安装架和竖直安装在所述第一安装架上的多个第一顶针本体，多个所述第一顶针本体由下至上穿过所述第一匀热板；

所述第一驱动机构与所述第一安装架相连，以带动所述第一安装架上下移动；

位于所述加热腔内的传输装置设置在所述第一匀热板的上侧。

5.根据权利要求2所述的镀膜系统，其特征在于：所述第一冷却腔内设有第二匀热板和第二搬运装置，所述第二搬运装置用于将所述传输装置上的工件搬运到所述第二匀热板上，或将所述第二匀热板上的工件搬运到所述传输装置上。

6.根据权利要求5所述的镀膜系统，其特征在于：所述第二搬运装置包括第二顶针机构和第二驱动机构，所述第二匀热板安装在所述第一冷却腔的下部，所述第二顶针机构包括第二安装架和竖直安装在所述第二安装架上的多个第二顶针本体，多个所述第二顶针本体由下至上穿过所述第二匀热板；

所述第二驱动机构与所述第二安装架相连，以带动所述第二安装架上下移动；

位于所述第一冷却腔内的传输装置设置在所述第二匀热板的上侧。

7.根据权利要求1所述的镀膜系统，其特征在于：所述工艺腔内设有第三匀热板和第三搬运装置，所述第三搬运装置用于将所述传输装置上的工件搬运到所述第三匀热板上，或将所述第三匀热板上的工件搬运到所述传输装置上。

8.根据权利要求7所述的镀膜系统，其特征在于：所述第三搬运装置包括第三顶针机构和第三驱动机构，所述第三匀热板安装在所述工艺腔的下部，所述第三顶针机构包括第三安装架和竖直安装在所述第三安装架上的多个第三顶针本体，多个所述第三顶针本体由下至上穿过所述第三匀热板；

所述第三驱动机构与所述第三安装架相连，以带动所述第三安装架上下移动；

位于所述工艺腔内的传输装置设置在所述第三匀热板的上侧。

9.根据权利要求7所述的镀膜系统，其特征在于：所述工艺腔内还设有喷淋机构，所述喷淋机构固定在所述第三匀热板的上侧，并与所述工艺腔外部的气源连通。

10.根据权利要求1至9任一项所述的镀膜系统，其特征在于：所述传输装置包括多个水平设置的传送辊，多个所述传送辊相互平行并同步转动。

11.根据权利要求10所述的镀膜系统，其特征在于：还包括装载台、预热腔、第二冷却腔和卸载台，所述传输装置依次通过装载台、预热腔、工艺腔、第二冷却腔和卸载台。

12.根据权利要求11所述的镀膜系统，其特征在于：所述预热腔内设有加热灯管，所述加热灯管固定在所述预热腔的下部，所述预热腔内的传送辊位于所述加热灯管的上侧。