[实用新型]一种硅片称重装置有效
| 申请号： | 201821110292.4 | 申请日： | 2018-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN208366439U | 公开（公告）日： | 2019-01-11 |
| 发明（设计）人： | 张弛;王志刚;王四海 | 申请（专利权）人： | 南京卓胜自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | G01G17/02 | 分类号： | G01G17/02 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 肖明芳 |
| 地址： | 210000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅片 本实用新型 称重模块 称重平台 称重装置 吸取装置 吸盘 气缸连接板 吸盘安装座 导向滑轨 伸缩气缸 升降气缸 影响效率 称重 破损 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅片称重装置，其特征在于，它包括设置在机架上的吸取装置(3)和称重平台(1)；其中，所述的称重平台(1)上设有称重模块(2)，称重模块(2)上设有导向滑轨(12)和升降气缸(5)；所述的吸取装置(3)上设有气缸连接板(4)、升降气缸(5)、吸盘安装座(6)和吸盘(8)。
2.根据权利要求1所述的硅片称重装置，其特征在于，所述的吸取装置(3)的工作行程为五道输送线工作。
3.根据权利要求1所述的硅片称重装置，其特征在于，所述的称重平台(1)的材料为大理石。
4.根据权利要求1所述的硅片称重装置，其特征在于，升降气缸(5)上设有护罩(9)。
5.根据权利要求1所述的硅片称重装置，其特征在于，当称重模块(2)工作时，升降气缸(5)缩回带动护罩(9)移动，露出称重模块(2)；当称重模块(2)结束工作时，升降气缸(5)伸出带动护罩(9)移动，遮住称重模块(2)，起到保护称重模块(2)的作用。
6.根据权利要求1所述的硅片称重装置，其特征在于，气缸连接板(4)固定在吸取装置(3)底面，气缸连接板(4)、升降气缸(5)、吸盘安装座(6)和吸盘(8)从上至下依次相连。
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