[实用新型]一种六氟化硫气体分解产物富集、解析装置

权利要求书

1.一种六氟化硫气体分解产物富集、解析装置，包括真空系统和富集与解析系统，其特征在于：

所述真空系统包括机械泵（6）、中空密闭的腔体（7）和真空计（8），所述机械泵（6）通过管路与所述腔体（7）连接，所述真空计（8）设置于所述腔体（7）的侧壁上，所述腔体（7）上还设置有用以给管线进出的开孔；

所述富集与解析系统包括制冷机（9）、捕集管（10）、加热棒（13）、步进电机（14）和固定模块（12），所述制冷机（9）设置于所述腔体（7）的侧壁上，所述制冷机（9）的制冷端位于所述腔体（7）内部，所述步进电机（14）设置于所述腔体（7）内部，所述捕集管（10）和加热棒（13）设置于所述固定模块（12）上，所述固定模块（12）设置于由所述步进电机（14）驱动的轨道上，所述固定模块（12）在所述步进电机（14）的作用下做靠近或远离所述制冷机（9）的制冷端的运动；

所述捕集管（10）一头连接有进气管（17），另一头连接有出气管（18），所述进气管（17）和出气管（18）分别通过开孔进出所述腔体（7）。

2.根据权利要求1所述的六氟化硫气体分解产物富集、解析装置，其特征在于：

还包括有采样和吹扫系统，所述采样和吹扫系统包括质量流量计（15）和六通阀（5），所述六通阀（5）的一个端口通过所述进气管（17）与所述捕集管（10）相连接，所述六通阀（5）的一个端口通过所述出气管（18）与所述捕集管（10）相连接，所述六通阀（5）的一个端口用以引入样品气体，在所述六通阀（5）引入样品气体的管路上设置有所述质量流量计（15），所述六通阀（5）的一个端口用以连接分析仪器，所述六通阀（5）的一个端口用以连接载气装置，所述六通阀（5）的一个端口用以排出尾气。

3.根据权利要求2所述的六氟化硫气体分解产物富集、解析装置，其特征在于：

所述六通阀（5）连接载气装置和排出尾气的管路上分别设置有质量流量计（15），所述六通阀（5）引入样品气体的管路上的所述质量流量计（15）与所述六通阀（5）之间设置有进气三通阀（16），所述进气三通阀（16）的另一个端口连接所述六通阀（5）排出尾气的管路；所述六通阀（5）排出尾气的管路上的所述质量流量计（15）与所述六通阀（5）之间设置有尾气三通阀（19），所述尾气三通阀（19）的另一个端口连接所述六通阀（5）连接载气装置的管路。

4.根据权利要求3所述的六氟化硫气体分解产物富集、解析装置，其特征在于：

还包括有除水系统，所述除水系统包括除湿管（1）、半导体制冷片（2）、导管（3）和储水池（4），所述除湿管（1）呈U型，所述半导体制冷片（2）贴合于所述除湿管（1）的外侧壁，所述储水池（4）位于所述除湿管（1）的下方，并通过所述导管（3）与所述除湿管（1）的底部连通；

所述除湿管（1）的一头连接所述进气三通阀（16），另一头连接所述六通阀（5）。

5.根据权利要求4所述的六氟化硫气体分解产物富集、解析装置，其特征在于：

所述储水池（4）的顶面为敞口结构，所述储水池（4）的顶面敞口的高度等于或低于所述除湿管（1）的底部的高度，所述储水池（4）通过导管（3）与所述除湿管（1）连接，所述导管（3）一端与所述除湿管（1）的底部相连通，另一端与所述储水池（4）的底部相连通。