[实用新型]炉体装配用调节装置及半导体设备有效
| 申请号： | 201820878865.1 | 申请日： | 2018-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN208468267U | 公开（公告）日： | 2019-02-05 |
| 发明（设计）人： | 邱江虹;刘红丽 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B25B27/14 | 分类号： | B25B27/14 |
| 代理公司： | 北京思创毕升专利事务所 11218 | 代理人： | 孙向民;廉莉莉 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 炉体 调节板 固定板 装配 调节装置 半导体设备 固定件 锁紧件 反应腔室 水平调节 恒温区 主机箱 控温 保证 | ||
1.一种炉体装配用调节装置，其特征在于，包括：
固定板，所述固定板用于与主机箱连接；
调节板，所述调节板用于与炉体连接；
所述调节板设于所述固定板上，且所述调节板相对于所述固定板的倾斜角度能够被调节；
锁紧件，所述锁紧件用于调节所述调节板相对于所述固定板的倾斜角度；
固定件，所述固定件将所述固定板和所述调节板固定。
2.根据权利要求1所述的炉体装配用调节装置，其特征在于，
所述固定板包括固定板主体和第一安装板，所述固定板主体上设有用于安装所述调节板的调节板安装孔，沿所述调节板安装孔的孔壁，所述固定板主体的底面向所述调节板安装孔内延伸形成所述第一安装板；
所述第一安装板上分别设有锁紧件安装孔和第一固定件安装孔。
3.根据权利要求2所述的炉体装配用调节装置，其特征在于，所述调节板的截面为矩形，所述调节板安装孔为矩形孔。
4.根据权利要求2所述的炉体装配用调节装置，其特征在于，
所述调节板包括调节板主体和第二安装板，沿所述调节板主体的外周，所述调节板主体的顶面向外延伸形成与所述第一安装板相配合的第二安装板；
所述第二安装板上设有第二固定件安装孔，所述第一固定件安装孔的位置与所述第二固定件安装孔的位置相对应。
5.根据权利要求4所述的炉体装配用调节装置，其特征在于，所述锁紧件安装孔、第一固定件安装孔和第二固定件安装孔均为螺纹孔。
6.根据权利要求4所述的炉体装配用调节装置，其特征在于，所述调节板上设有供晶舟通过的通孔。
7.根据权利要求5所述的炉体装配用调节装置，其特征在于，所述锁紧件包括螺钉，所述螺钉插入所述锁紧件安装孔内，且与所述第二安装板抵接。
8.根据权利要求5所述的炉体装配用调节装置，其特征在于，所述固定件包括螺钉，所述螺钉穿设于所述第一固定件安装孔和第二固定件安装孔内，以将所述固定板和所述调节板固定。
9.根据权利要求1所述的炉体装配用调节装置，其特征在于，所述调节板上设有用于连接炉体的装配孔。
10.一种半导体处理设备，包括主机箱和炉体，其特征在于，还包括权利要求1至9中任意一项所述的炉体装配用调节装置；
所述主机箱上方设有所述固定板，所述炉体下方设有所述调节板。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方华创微电子装备有限公司，未经北京北方华创微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201820878865.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种螺钉强力拆卸装置
- 下一篇：用于框架式支架搬运车铰接部销轴的拆卸安装装置
