[实用新型]一种沉积缸清洗装置及离心沉积机有效
| 申请号： | 201820865383.2 | 申请日： | 2018-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN208450148U | 公开（公告）日： | 2019-02-01 |
| 发明（设计）人： | 卢艺森;廖宝根 | 申请（专利权）人： | 肇庆市格朗自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/093 | 分类号： | B08B9/093;B08B13/00;C25D21/08;C25D5/00 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 杨勋 |
| 地址： | 526000 广东省肇庆市端*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 清洗组件 清洗装置 沉积 直线驱动机构 喷头 固定支架 离心沉积 壳体 直线运动方向 本实用新型 固定设置 内部中空 清洗效率 转动 垂直 | ||
1.一种沉积缸清洗装置，其特征在于，包括固定支架和清洗组件，其中，所述固定支架上固定设置有直线驱动机构，所述直线驱动机构用于驱使所述清洗组件进行直线运动；
所述清洗组件包括壳体，所述壳体上设置有可360°转动且内部中空的喷头，所述喷头的转动方向与所述清洗组件的直线运动方向垂直。
2.根据权利要求1所述的沉积缸清洗装置，其特征在于，所述喷头的横截面呈圆形，所述喷头的侧面及底部均设置有出水孔。
3.根据权利要求1所述的沉积缸清洗装置，其特征在于，所述直线驱动机构和所述清洗组件之间设置有提盖机构；
所述提盖机构用于提起沉积缸的缸盖。
4.根据权利要求3所述的沉积缸清洗装置，其特征在于，所述提盖机构包括安装板、卡爪组件和用于驱动所述卡爪组件的动力单元；
所述直线驱动机构和所述清洗组件分别安装于所述安装板的两侧；
所述动力单元固定于所述安装板上，并位于靠近所述清洗组件的一侧；
所述卡爪组件位于所述动力单元和所述清洗组件之间。
5.根据权利要求4所述的沉积缸清洗装置，其特征在于，所述卡爪组件包括套筒和位于所述套筒内部的活动爪，其中，所述套筒的侧壁上设置有与所述活动爪相对应的通孔；
所述套筒内设置滑动设置有活动芯，所述活动芯用于在所述动力单元的驱动下驱使所述活动爪伸出所述通孔。
6.根据权利要求5所述的沉积缸清洗装置，其特征在于，所述活动芯上设置横截面自上而下逐渐减小的推伸部，所述活动爪与所述推伸部的侧壁相接触；
所述动力单元用于驱使所述活动芯进行直线运动，所述活动芯的运动方向与自身的横截面相垂直；
所述活动爪的下表面与所述壳体的上表面相贴合且滑动连接，所述活动爪的活动方向与所述活动芯的直线运行方向垂直。
7.根据权利要求5所述的沉积缸清洗装置，其特征在于，所述套筒内设置复位件，所述复位件用于提供复位作用力使所述活动爪缩回所述套筒内。
8.根据权利要求4所述的沉积缸清洗装置，其特征在于，所述固定支架上设置有直线轴承；
所述安装板上固定设置有与所述直线轴承一一对应的导向轴，所述导向轴与所述直线轴承滑动连接；
所述导向轴与所述清洗组件的直线运动方向平行。
9.根据权利要求1所述的沉积缸清洗装置，其特征在于，所述直线驱动机构为气缸。
10.一种离心沉积机，其特征在于，包括权利要求1-9中任一项所述的沉积缸清洗装置。
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