[实用新型]气体加热及加速粉尘沉积结晶的防治装置

权利要求书

1.一种气体加热及加速粉尘沉积结晶的防治装置，其特征在于，包括：

一第一本体，具有一容置通道以及一进气阀；

一外导气管，设置于该容置通道中，且该外导气管上包括多个通气孔；

一内导气管，设置于该外导气管中，且该内导气管上包括多个气旋斜角度穿孔；

一加热感温线圈，设置于该外导气管及该内导气管之间，且该加热感温线圈包括一端口；以及

一第二本体，具有一通气通道以及多个连接阀；

其中，该第一本体与该第二本体相互连接，该加热感温线圈的该端口穿设于所述连接阀的其中之一中而连接至该防治装置的外部，而一温度传感器的一感测端穿过所述连接阀的另外之一而设置于该通气通道中。

2.如权利要求1所述的气体加热及加速粉尘沉积结晶的防治装置，其特征在于，进一步包括一O型环，该O型环设置于该第一本体及该第二本体之间。

3.如权利要求1所述的气体加热及加速粉尘沉积结晶的防治装置，其特征在于，所述气旋斜角度穿孔的每一个具有一倾斜夹角、一旋转夹角以及一穿孔中心轴，该内导气管包括具有一中心轴的一通气管道，与该中心轴平行的一假想轴位于该内导气管的管壁的位置，在由该穿孔中心轴及该假想轴所构成的一第一假想平面中，该倾斜夹角为该穿孔中心轴与该假想轴之间的夹角；在该第一假想平面上具有与该假想轴垂直的一切线，而在由该穿孔中心轴及该切线所构成的一第二假想平面中，该旋转夹角为该穿孔中心轴与该切线之间的夹角。

4.如权利要求3所述的气体加热及加速粉尘沉积结晶的防治装置，其特征在于，该倾斜夹角的角度为20-40度中的任一角度，该旋转夹角的角度为20-40度中的任一角度。

5.如权利要求1所述的气体加热及加速粉尘沉积结晶的防治装置，其特征在于，该加热感温线圈藉由加热导线包覆感温导线而一体成形。

6.如权利要求1所述的气体加热及加速粉尘沉积结晶的防治装置，其特征在于，该第一本体及该第二本体皆为一体成形，该第一本体及该第二本体上不包括焊接点。

7.如权利要求1所述的气体加热及加速粉尘沉积结晶的防治装置，其特征在于，该进气阀连接至一惰性气体提供装置。

8.如权利要求7所述的气体加热及加速粉尘沉积结晶的防治装置，其特征在于，该惰性气体提供装置为氮气提供装置、氩气提供装置、氦气提供装置的其中之一。

9.如权利要求1所述的气体加热及加速粉尘沉积结晶的防治装置，其特征在于，该第一本体藉由多个螺丝锁附连接至该第二本体。

10.如权利要求1所述的气体加热及加速粉尘沉积结晶的防治装置，其特征在于，该第一本体连接至一泵浦，该泵浦连接至半导体制程中的一腔体，该第二本体连接至一收集装置。