[实用新型]一种摩天轮回转式上下传送装置

说明书

一种摩天轮回转式上下传送装置，包括本体，所述本体包括L形支架、传动齿轮、回转轮、连杆和托盘，所述L形支架为直角连接的水平杆和垂直杆，水平杆和垂直杆的末端同侧分别固定安装传动齿轮，回转轮与垂直杆末端的传动齿轮同轴度连接，两个传动齿轮之间链带连接，回转轮外缘设有垂直连接的连杆，连杆均匀对称布置，连杆末端连接有托盘，托盘水平。基板或承载盘由进料端进入湿式制程机台作用，传出出料端后，使用摩天轮回转式上下传送装置上传到制程机台外的回流输送带，再由进料端的摩天轮回转式上下传送装置下传，传至下方后传出，无需通过螺杆上下传送，确保工艺流程的有序进行同时，避免了上下传送装置的频繁维护，减少使用成本。

技术领域

本实用新型涉及一种传送装置，尤其涉及一种摩天轮回转式上下传送装置。

背景技术

半导体制程是在超洁净无尘室进行的，仍然有些污染源的存在，至于污染源的来源，不外乎设备本身材料产生、现场作业员或制程工程师人体自身与动作的影响、化学材料或制程药剂残留或不纯度的发生，以及制程反应产生物的结果，尤其是制程反应产生物一项，更成为制程污染的主要来源，大多会造成良率和可靠度的下降；在半导体制程中，无论是在去光阻、化学气相沉淀、氧化扩散、晶圆研磨以后等各阶段制程都需要反复清洗步骤。

目前搭接与湿式制程机台的回流传送，目前使用多为螺杆方式上下传送，螺杆在长期频繁使用过程中容易发生损坏，影响工艺流程的正常进行。

实用新型内容

本实用新型正是针对现有技术存在的不足，提供了一种摩天轮回转式上下传送装置。

为解决上述问题，本实用新型所采取的技术方案如下：

一种摩天轮回转式上下传送装置，包括本体，所述本体包括L形支架、传动齿轮、回转轮、连杆和托盘，所述L形支架为直角连接的水平杆和垂直杆，水平杆和垂直杆的末端同侧分别固定安装传动齿轮，回转轮与垂直杆末端的传动齿轮同轴度连接，两个传动齿轮之间链带连接，回转轮外缘设有垂直连接的连杆，连杆均匀对称布置，连杆末端连接有托盘，托盘水平。

进一步的，所述托盘上设有开槽，开槽内放置有基板或承载盘。

进一步的，所述本体安装在湿式制程机台的进料端和出料端，湿式制程机台内设有基板或承载盘输送装置，湿式制程机台外部上端设有基板或承载盘回流输送带，本体分别与基板或承载盘输送装置、回流输送带配合。

进一步的，所述支架的水平杆末端的传动齿轮端设有直流电机，直流电机与传动齿轮轴联接。

本实用新型与现有技术相比较，本实用新型的有益效果如下：

本实用新型所述的一种摩天轮回转式上下传送装置，基板或承载盘由进料端进入湿式制程机台作用，传出出料端后，使用摩天轮回转式上下传送装置上传到制程机台外的回流输送带，再由进料端的摩天轮回转式上下传送装置下传，传至下方后传出，无需通过螺杆上下传送，避免螺杆频繁使用的损伤，确保工艺流程的有序进行同时，避免了上下传送装置的频繁维护，减少使用成本。

附图说明

图1为本实用新型所述的一种摩天轮回转式上下传送装置安装结构示意图；

图2为本实用新型所述的一种摩天轮回转式上下传送装置与湿式制程机台配置示意图。

具体实施方式

为了清楚了解本实用新型的技术方案，将在下面的描述中提出其详细的结构。显然本实用新型实施例的具体施行并不足限于本领域的技术人员所熟习的特殊细节。本实用新型的优选实施例详细描述如下，除详细描述的这些实施例外，还可以具有其他实施方式。