[实用新型]一种由石墨烯修正的高灵敏度表面等离子谐振腔传感器有效
| 申请号： | 201820810032.1 | 申请日： | 2018-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN208206334U | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 徐政杰;朱君;傅得立 | 申请（专利权）人： | 广西师范大学 |
| 主分类号： | G01K11/00 | 分类号： | G01K11/00 |
| 代理公司： | 桂林市华杰专利商标事务所有限责任公司 45112 | 代理人： | 刘梅芳 |
| 地址： | 541004 广西壮*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 表面等离子 金属层 谐振腔传感器 高灵敏度 基底层 石墨烯 谐振腔 直波导 凹陷 波导 叠接 修正 本实用新型 单层石墨烯 上下表面 医学检测 制备过程 灵敏度 纳米级 体积小 传感器 传感 对称 贯通 响应 | ||
【权利要求书】：
1.一种由石墨烯修正的高灵敏度表面等离子谐振腔传感器，其特征是，包括自下而上叠接的基底层和金属层，所述金属层中设有贯通金属层上下表面的谐振腔，谐振腔的周边对称设有凹陷的第一直波导和凹陷的第二直波导，第一直波导和第二直波导的底部均设有单层石墨烯与基底层紧密叠接。
2.根据权利要求1所述的由石墨烯修正的高灵敏度表面等离子谐振腔传感器，其特征是，所述谐振腔中的温度传感介质为具有高热光系数的液体材料，谐振腔的长、宽尺寸可调。
3.根据权利要求1所述的由石墨烯修正的高灵敏度表面等离子谐振腔传感器，其特征是，所述石墨烯的费米能级和载流子浓度可调。
4.根据权利要求1所述的由石墨烯修正的高灵敏度表面等离子谐振腔传感器，其特征是，所述基底层为Si层。
5.根据权利要求1所述的由石墨烯修正的高灵敏度表面等离子谐振腔传感器，其特征是，所述金属层为Ag层。
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