[实用新型]一种硅晶片装载架

说明书

本实用新型属于电子元器件技术领域，涉及一种硅晶片装载架；其结构包括连接板和支撑杆；连接板左右对称设置，每个连接板上对称设置有扇形环形槽和矩形卡槽，卡槽均匀分布在扇形环形槽上；连接板之间设置有四个支撑杆；支撑杆包括上支撑杆和下支撑杆；上支撑杆贯穿在扇形环形槽靠近顶端的一侧；下支撑杆贯穿在扇形环形槽靠近底端的一侧；每个支撑杆的两端均设置有与卡槽匹配使用的卡块；每个支撑杆内侧面均匀设置有用于卡嵌晶片的三角插槽；该装载架实现了不同尺寸晶片的装载，支撑杆能够迅速定位，保证三角插槽上下对称，可拆卸连接在支撑杆上的卡块使得装载架拆装方便快捷，并能够根据实际需要调节晶片装载量，操作方便，应用范围广。

技术领域

本实用新型属于电子元器件技术领域，涉及一种硅晶片装载架，特别是一种适用于圆晶片装载的硅晶片装载架。

背景技术

硅片是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件，利用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力，科学技术的发展不断推动着半导体、自动化和计算机等技术的发展，硅片的应用非常广泛，涉及航空航天、工业、农业和国防等多个领域。硅片的制作工艺复杂，对其质量要求较高，其中，晶片清洗是生产晶片的重要步骤之一，是获取高质量晶片的关键，晶片装载架是晶片清洗过程中，用于装载晶片的装置。目前，现有晶片装载架不便于安装和拆卸，使用不便，且不能放置多种尺寸的晶片。

实用新型内容

本实用新型的发明目的在于克服现有技术存在的缺点，提出设计一种硅晶片装载架，以解决上述问题，方便调节和拆卸，能够适应于不同尺寸晶片的装载，应用范围广。

本实用新型涉及的硅晶片装载架，其主体结构包括连接板和支撑杆；所述的连接板左右对称设置，每个连接板上对称设置有扇形环形槽和矩形卡槽，卡槽均匀分布在扇形环形槽上；连接板之间设置有四个支撑杆；支撑杆包括上支撑杆和下支撑杆；上支撑杆贯穿在扇形环形槽靠近顶端的一侧；下支撑杆贯穿在扇形环形槽靠近底端的一侧；每个支撑杆的两端均设置有与卡槽匹配使用的卡块；每个支撑杆内侧面均匀设置有用于卡嵌晶片的三角插槽。

进一步的，所述的卡块靠近支撑杆端部的一侧设置有凸块，当卡块完全卡扣在卡槽中时，凸块紧贴连接板外侧面，用于对卡块进行定位，并方便手动造作卡块。

进一步的，所述的支撑杆一端与卡块固定设置，另一端与卡块可拆卸式连接，使用时，首先将与支撑杆固定连接的卡块卡扣在卡槽内，然后再将另一端的卡块卡扣在卡槽内，便于支撑杆在扇形环形槽中的迅速定位，保证了上支撑杆与下支撑杆上的三角插槽上下对称，有利于装载晶片，且能够调节与支撑杆可拆卸式连接的卡块在支撑杆上的位置，从而调节两连接板之间的距离，能够根据需要装载不同数量的晶片，使用灵活，操作方便快捷。

进一步的，所述的上支撑杆为两个，且处于同一水平面上；下支撑杆为两个，且处于同一水平面上，有利于晶片的稳固放置。

本实用新型与现有技术相比，具有以下优点：扇形环形槽及卡槽的配合设置，使得支撑杆方便安装和调节，实现了不同尺寸晶片的装载；固定卡扣在支撑杆上的卡块与凸块的配合设置，使得支撑杆能够迅速定位，保证三角插槽上下对称，可拆卸连接在支撑杆上的卡块使得装载架拆装方便快捷，并能够根据实际需要调节晶片装载量；其整体结构简单，设计合理，应用环境良好。

附图说明

图1为本实用新型的主视图；

图2为本实用新型的右视图；

图3为本实用新型的俯视图；

其中，1连接板、2支撑杆、3扇形环形槽、4卡槽、5卡块、6三角插槽、7凸块、21上支撑杆、22下支撑杆。

具体实施方式