[实用新型]真空吸附装置和打磨抛光机

权利要求书

1.一种真空吸附装置，其特征在于，包括吸附盘，该吸附盘内设有真空腔，该吸附盘的端部设有凹槽和围绕该凹槽设置的盘端沿，该凹槽内设有多个第一吸盘，该盘端沿上设有多个第二吸盘，该第一吸盘与该第二吸盘上设有与该真空腔连通的吸附孔。

2.如权利要求1所述的真空吸附装置，其特征在于，该吸附盘包括上盘板和下盘板，该下盘板连接在该上盘板上，该上盘板与该下盘板之间形成有该真空腔。

3.如权利要求2所述的真空吸附装置，其特征在于，该上盘板靠近该下盘板的一侧设有密封槽，该密封槽绕着该真空腔设置，该吸附盘还包括密封条，该密封条的一侧设置在该密封槽内，该密封条的另一侧抵靠在该下盘板上。

4.如权利要求2所述的真空吸附装置，其特征在于，该上盘板上设有多个第一螺孔，该第一螺孔贯穿该上盘板，该下盘板上设有多个与该第一螺孔对应的第二螺孔，该上盘板与该下盘板之间通过螺栓与第一螺孔、第二螺孔配合连接。

5.如权利要求2所述的真空吸附装置，其特征在于，该下盘板呈圆锥形，该凹槽和盘端沿设置在该下盘板上。

6.如权利要求5所述的真空吸附装置，其特征在于，各该第一吸盘沿着该凹槽的周向等间距排布，各该第二吸盘沿着该盘端沿的周向等间距排布。

7.如权利要求1至6任意一项所述的真空吸附装置，其特征在于，该吸附盘上设有抽气孔和抽气接头，该抽气孔与该真空腔连通，该抽气接头的一端固定在该吸附盘上，并与该抽气孔连通，该真空吸附装置还包括抽真空机构，该抽真空机构包括抽气泵和抽气管，该抽气管的一端与该抽气泵连接，该抽气管的另一端与该抽气接头连接。

8.如权利要求1至6任意一项所述的真空吸附装置，其特征在于，该吸附盘上还设有多根连接柱，各连接柱呈矩阵排布，该抽真空机构还包括机械臂，该机械臂的一端与该连接柱连接。

9.一种打磨抛光机，其特征在于，包括权利要求1至8任意一项所述的真空吸附装置。