[实用新型]一种带有电子制冷功能的压电变形镜

权利要求书

1.一种带有电子制冷功能的压电变形镜，其特征在于，包括驱动层、镜面层、半导体制冷片和冷却室，所述驱动层为环形结构的压电片，压电片的两侧覆盖有电极层，所述驱动层粘接在镜面层的外侧构成压电变形镜本体，所述镜面层的中央无压电片覆盖的区域镀有高反射膜，所述镀有高反射膜的区域为工作区域，所述镜面层的另一侧与冷却室粘结固定形成密封的腔体，腔体内设有半导体制冷片，通过半导体制冷片通电降温使镜面层冷却。

2.根据权利要求1所述的带有电子制冷功能的压电变形镜，其特征在于，所述压电片与镜面层粘接的一侧所覆盖的电极层为与压电片相同形状的环形电极层，另一侧所覆盖的电极层为分离的多环扇形阵列结构电极层。

3.根据权利要求2所述的带有电子制冷功能的压电变形镜，其特征在于，所述多环扇形阵列结构电极层为两环扇形阵列结构电极层。

4.根据权利要求1所述的带有电子制冷功能的压电变形镜，其特征在于，所述压电变形镜为柱体结构。

5.根据权利要求1所述的带有电子制冷功能的压电变形镜，其特征在于，所述工作区域为圆形区域，直径小于环形结构的压电层的内径。

6.根据权利要求1所述的带有电子制冷功能的压电变形镜，其特征在于，所述高反射膜为具有高反射率的金属膜或介质膜。

7.根据权利要求1所述的带有电子制冷功能的压电变形镜，其特征在于，所述半导体制冷片与镜面层之间留有空隙。

8.根据权利要求1所述的带有电子制冷功能的压电变形镜，其特征在于，所述冷却室的两侧设置有入水口和排气口。

9.根据权利要求1所述的带有电子制冷功能的压电变形镜，其特征在于，所述冷却室的腔壁上设有两个槽口用来支撑半导体制冷片。

10.根据权利要求1所述的带有电子制冷功能的压电变形镜，其特征在于，所述冷却室的腔壁上设有开孔。