[实用新型]一种用于扫描电镜夹杂物统计分析的样品座装置

说明书

一种用于扫描电镜夹杂物统计分析的样品座装置，属于实验设备制造技术领域。包括样品座主体、垫片、圆柱弹簧和螺丝；样品座主体上部有水平卡槽，槽内放置垫片，底部有圆坑，圆柱弹簧放置在圆坑内，圆坑底面中心开孔，有内螺纹，与螺丝配合连接。优点在于，操作简单，彻底解决了切割加工、制备不当等造成的试样检测面倾斜问题，确保了扫描电镜夹杂物自动统计分析的可靠性。

技术领域

本实用新型属于实验设备制造技术领域，特别涉及一种用于扫描电镜夹杂物统计分析的样品座装置。

背景技术

随着国内管线钢、汽车板、齿轮钢等高品质钢的不断发展，夹杂物的精细检测日益受到科研和技术人员的重视。自国家标准GB/T 30834-2014出版实施以来，利用扫描电镜对钢中细小夹杂物进行形态、尺寸及成分的自动统计分析，已然成为夹杂物检测的一种热门分析手段。

利用扫描电镜对钢中夹杂物进行自动统计分析时，依靠马达驱动的样品台X方向、Y方向移动实现设定区域的夹杂物自动检测分析，由于在样品台移动的过程中对检测位置不能进行实时聚焦，因此试样的检测面保持水平是非常重要的，即确保焦点没有明显偏离正常位置，使得所检测视场的夹杂物被准确地识别和分析，从而保证分析结果的可靠性。

有些情况下，试样检测面很难固定呈水平状态，例如：1)试样检测面虽切割平整，但底面却切割粗糙、加工不当呈倾斜不平状态；2)底面平整，但试样检测面经切割不当而呈倾斜状态，这种倾斜状态在后续的磨制或抛光过程中难以修正；3)底面平整，但操作人员在磨制试样的过程中施力不均，也会造成检测面一定程度的倾斜。

鉴于试样在切割加工、磨抛制备过程中难免造成试样倾斜不平的情况，若将试样返回重新加工制备，则会耗费额外的精力，延迟分析时间，有时多次制备仍不能达到理想的效果。因此，试样的制备好坏极大地影响着后续夹杂物自动统计分析工作的进行。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种用于扫描电镜夹杂物统计分析的样品座装置，解决了试样的检测面保持水平的问题。

一种用于扫描电镜夹杂物统计分析的样品座装置，包括样品座主体2、垫片3、圆柱弹簧4、螺丝5；样品座主体2上部有水平卡槽，槽高1～2mm，槽内放置垫片3，样品座主体2底部有直径为10mm的圆坑，圆柱弹簧4放置在圆坑内，圆坑底面中心开孔，有内螺纹，与螺丝5配合连接，样品座主体2下部支撑柱与扫描电镜的样品台紧密接触。

所述的样品座主体2外尺寸为：长度37～40mm，宽度20～25mm，高度55～60mm，适用于常规扫描电镜试样的放置。

所述的垫片3为四种长方形垫片，外尺寸相同，均为长31～32mm、宽20～25mm、厚0.3～0.5mm，内尺寸分别为：长23mm×宽16～18mm，长17mm×宽12～15mm，长12mm×宽8～11mm，长7mm×宽5～7mm，分别适用于长度在25mm、20mm、15mm、10mm的典型试样。

所述圆柱弹簧4的尺寸为Φ8～9mm，长10～25mm。

所述螺丝5直径Φ3～4mm、长25～30mm。

样品座主体2下部支撑柱尺寸为：内径Φ8～10mm、高度不低于22mm，支撑柱外径尺寸设置满足与扫描电镜的紧密连接，或者插入扫描电镜的样品台内固定，或者水平放置在扫描电镜的样品台上粘牢。

所述的样品座主体2和垫片3的材质为铜或不锈钢。

该装置的工作原理为：首先将待测试样检测面朝上放入样品座主体2内，然后将与试样尺寸对应的垫片3插入水平卡槽内，使得垫片3压住试样检测面的边缘，并使试样留有足够的检测区域，试样底面则与下部圆柱弹簧4挤压接触。由于圆柱弹簧4和试样底面是软性接触，在下部弹簧弹力的作用下，即使试样底面倾斜不平，试样检测面仍可保持水平状态，最后用圆柱弹簧4底部的螺丝5进一步拧紧固定。