[实用新型]一种多波段选频的混合等离激元波导布拉格光栅

权利要求书

1.一种多波段选频的混合等离激元波导布拉格光栅，其特征在于：该混合等离激元波导布拉格光栅结构由两组不同周期结构的混合等离激元波导布拉格光栅以及入射和出射端的导纳匹配波导构成，两组混合等离激元波导布拉格光栅串联拼接。

2.根据权利要求1所述的一种多波段选频的混合等离激元波导布拉格光栅，其特征在于：所述第一组混合等离激元波导布拉格光栅由两种波导交替排列形成，第二组混合等离激元波导布拉格光栅由两种波导交替排列形成。

3.根据权利要求2所述的一种多波段选频的混合等离激元波导布拉格光栅，其特征在于：所述第一组混合等离激元波导布拉格光栅由金属Ag条和高折射率材料Si中间周期性地交替填充两种低折射率材料A和B构成，所述第一组混合等离激元波导布拉格光栅包括N个交替填充排列的两种低折射率材料A和B。

4.根据权利要求2所述的一种多波段选频的混合等离激元波导布拉格光栅，其特征在于：所述第二组混合等离激元波导布拉格光栅由金属Ag条和高折射率材料Si中间周期性地交替填充两种低折射率材料A和B构成，所述第二组混合等离激元波导布拉格光栅包括N个交替填充排列的两种低折射率材料A和B。

5.根据权利要求4所述的一种多波段选频的混合等离激元波导布拉格光栅，其特征在于：所述低折射率材料A为TiO₂，所述低折射率材料为SiO₂。

6.根据权利要求1所述的一种多波段选频的混合等离激元波导布拉格光栅，其特征在于：所述第一组混合等离激元波导布拉格光栅和第二组混合等离激元波导布拉格光栅的周期数N为15.5。

7.根据权利要求1所述的一种多波段选频的混合等离激元波导布拉格光栅，其特征在于：所述布拉格光栅的周期为Λ＝d₁+d₂，具体的结构参数由下式确定：

其中：q是布拉格级数，通常取1；λ_b为布拉格波长；d₁和d₂分别为SiO₂和TiO₂材料在一个周期内的长度；n_eff，1和n_eff，2分别为低折射率材料SiO₂和TiO₂填充时的两种混合表面等离激元波导的有效折射率。

8.根据权利要求1所述的一种多波段选频的混合等离激元波导布拉格光栅，其特征在于：所述第一组混合等离激元波导布拉格光栅和第二组混合等离激元波导布拉格光栅的周期分别为Λ₁和Λ₂，所述第一组混合等离激元波导布拉格光栅Λ₁为284nm，所述第二组混合等离激元波导布拉格光栅Λ₂为244nm。

9.根据权利要求1所述的一种多波段选频的混合等离激元波导布拉格光栅，其特征在于：所述入射端和出射端分别为SiO₂和TiO₂，入射端SiO₂的长度为260nm，出射端TiO₂的长度为370nm。

10.根据权利要求1所述的一种多波段选频的混合等离激元波导布拉格光栅，其特征在于：所述第一组混合等离激元波导布拉格光栅和第二组混合等离激元波导布拉格光栅的占空比不同。