[实用新型]一种X射线成像装置

说明书

本实用新型提供了一种X射线成像装置，该装置可以包括：转台，其设置在底座上并且在被驱动时围绕竖直方向上的纵向轴线旋转；探测器，其经由穿过转台的中孔的第一支撑结构连接到底座；样品台，其经由第二支撑结构连接到转台；以及射线源，其设置于经由第三支撑结构连接到底座。该装置能够同时支持包括计算机层析成像和计算机断层成像的多种模式。

技术领域

本实用新型总体上涉及X射线成像领域，并且具体地涉及一种X射线成像装置，其能够同时支持包括计算机层析成像和计算机断层成像的多种模式。

背景技术

X射线成像已经被广泛地应用于医学诊断、工业无损检测、安检、科研等领域。医学诊断用的计算机断层成像(CT)装置检测的对象通常是人或动物，装置的结构相对固定。相比于医学检测，工业CT检测的对象不固定，用于工业无损检测的CT成像设备的结构根据不同的检测需求而不同。

专用于诸如芯片这样的板状物体的X射线三维层析成像技术可以在不破坏板状物体的情况下对板状物体的内部结构进行三维成像。这样的计算机层析成像(CL)技术能够有效地解决在对板状物体应用计算机断层成像方法的情况下由于入射的X射线在垂直样品表面和平行样品表面两个方向的光程差异过大而导致的问题。

为了兼容传统的CT模式并充分地利用现有的射线源和探测器，对于采用CL技术的装置，往往需要添加额外的横向转台，并且在CL和CT两种模式之间切换的情况下需要安装或拆除转台。

实用新型内容

如前文所述，现有的CL成像装置无法高效地同时支持包括计算机层析成像和计算机断层成像等多种模式。

为了解决上述技术问题，提出了本申请。

本申请的实施例提供了一种X射线成像装置，该装置包括：转台，其设置在底座上并且在被驱动时围绕竖直方向上的纵向轴线旋转；探测器，其经由穿过转台的中孔的第一支撑结构连接到底座；样品台，其经由第二支撑结构连接到转台；以及射线源，其设置于经由第三支撑结构连接到底座。

在一个实施例中，第一支撑结构包括升降机构、横臂和支架，升降机构穿过转台的中孔并连接底座和横臂，支架可移动地设置在横臂上并连接探测器和横臂。

在一个实施例中，探测器经由支架上的转轴连接到支架，以通过围绕转轴转动来改变俯仰角。

在一个实施例中，支架在横臂上的可移动范围相对于纵向轴线是不对称的。

在一个实施例中，第二支撑结构是一端固定在转台上的机械臂。

在一个实施例中，样品台经由第二支撑结构上的旋转机构连接到第二支撑结构，旋转机构在被驱动时带动样品台围绕旋转机构的中心轴旋转。

在一个实施例中，旋转机构的中心轴与纵向轴线垂直。

在一个实施例中，第三支撑结构是一端固定在底座上的机械臂。

在一个实施例中，探测器的俯仰角被配置为使得由射线源的焦点和探测器的中心所确定的直线垂直于探测器的接收射线的表面。

在一个实施例中，X射线成像装置还包括控制单元，控制单元通过有线或无线的方式连接到转台、探测器、射线源、第一支撑结构、第二支撑结构和第三支撑结构中的一个或多个。

与现有技术相比，根据本申请的实施例的X射线成像装置能够针对不同的样品采用不同的成像模式，例如多角度投影成像、CT成像、CL成像等。每种成像模式均能够自由地调节放大比、成像视野等，从而能够实现不同的空间分辨率。不同的成像模式可以共用相同的样品台支撑结构，从而能够有效地节约成本，并有利于不同成像模式之间的快速切换。