[实用新型]一种真空镀膜设备有效

专利信息
申请号: 201820506240.2 申请日: 2018-04-10
公开(公告)号: CN208183063U 公开(公告)日: 2018-12-04
发明(设计)人: 刘旭 申请(专利权)人: 潮州市景程薄膜科技有限公司
主分类号: C23C14/32 分类号: C23C14/32
代理公司: 厦门加减专利代理事务所(普通合伙) 35234 代理人: 王春霞
地址: 521000 广东省潮州市中山(潮州)产业转*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 镀膜 真空镀膜设备 镀膜处理 移动装置 镀膜料 移动杆 物件 卡爪 保护装置 电源开关按键 离子束发生器 本实用新型 避免装置 控制面板 使用寿命 提高装置 压力减小 真空镀膜 安装盘 放置腔 离子束 真空室 底座 喷出 喷孔 丝杆 压紧 转动 吻合 发射
【说明书】:

本实用新型公开了一种真空镀膜设备,包括底座、真空室和移动装置;打开控制面板上的电源开关按键,设备开始运行,使得上镀膜锅与下镀膜锅相吻合,移动杆一端的带动卡爪安装盘慢慢的转动,可以使得需要镀膜的物件均匀的进行镀膜处理,下镀膜锅中的离子束发生器发射出离子束,使得镀膜料放置腔中的镀膜料通过镀膜喷头上的镀膜喷孔喷出,然后在卡爪上的镀膜物件进行镀膜处理,在镀膜的过程中,移动杆和移动装置上的丝杆进行往复运动,避免装置一直压紧下镀膜锅,从而使得下镀膜锅的压力减小,保护装置的安全性,提高装置的使用寿命,上镀膜锅和下镀膜锅的形状大小相同,从而增加了真空镀膜的效率和质量,使用起来操作方便快捷,实用性很高。

技术领域

本实用新型涉及镀膜技术领域,具体是一种真空镀膜设备。

背景技术

种由物理方法产生薄膜材料的技术。在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。在进行真空镀膜的过程中,通常将待镀膜的基片放入真空室内,并由安装在基片承载部上的夹具对基片进行夹持,由离子源对置放在镀膜材料置放部的镀膜材料进行轰击,使镀膜材料溅射并均匀沉积在基片表面,在长期进行镀膜材料的轰击,使设备长时间处于压紧状态,降低设备的使用寿命。

因此,本领域技术人员提供了一种真空镀膜设备,以解决上述背景技术中提出的问题。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜设备,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:

一种真空镀膜设备,包括底座、真空室和移动装置;所述底座的下侧四个拐角处设有空槽,空槽上设有固定轴,固定轴上设有万向轮,万向轮上设有伸缩臂,伸缩臂远离万向轮的一端与空槽固定连接,伸缩臂的中间设有销轴;

所述底座的上侧设有真空室,真空室的左上侧设有控制面板,控制面板内设有控制器,真空室的上侧设有电机,真空室的内部上侧设有移动装置,且移动装置与电机连接,移动装置上设有丝杆,丝杆的两侧设有固定杆,丝杆和固定杆上设有滑块,滑块上设有移动杆,移动杆的下侧设有转轴,转轴的下侧设有上镀膜锅,上镀膜锅的内部上侧设有卡爪安装盘,卡爪安装盘上设有卡爪;

所述真空室的内部下侧设有缓冲垫,缓冲垫上设有下镀膜锅,下镀膜锅的内部设有离子束发生器,离子束发生器的上侧设有镀膜料放置腔,镀膜料放置腔的上侧设有镀膜喷头,镀膜喷头上设有镀膜喷孔。

作为本实用新型进一步的方案:所述真空室的内壁上设有真空垫。

作为本实用新型再进一步的方案:所述控制器的型号为:VS1024U。

作为本实用新型再进一步的方案:所述上镀膜锅和下镀膜锅的形状大小相同。

作为本实用新型再进一步的方案:所述卡爪设置为若干个,且卡爪等距设置。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

本装置适用于多种镀膜场合,打开控制面板上的电源开关按键,设备开始运行,将镀膜料放置在下镀膜锅中的镀膜料放置腔内,将需要镀膜的物件放置在卡爪上,驱动电机使得移动杆上下移动,使得上镀膜锅与下镀膜锅相吻合,移动杆一端的带动卡爪安装盘慢慢的转动,卡爪安装盘从而带动卡爪慢慢的转动,可以使得需要镀膜的物件均匀的进行镀膜处理,下镀膜锅中的离子束发生器发射出离子束,使得镀膜料放置腔中的镀膜料通过镀膜喷头上的镀膜喷孔喷出,然后在卡爪上的镀膜物件进行镀膜处理,在镀膜的过程中,移动杆和移动装置上的丝杆进行往复运动,避免装置一直压紧下镀膜锅,从而使得下镀膜锅的压力减小,保护装置的安全性,提高装置的使用寿命,上镀膜锅和下镀膜锅的形状大小相同,从而增加了真空镀膜的效率和质量,使用起来操作方便快捷,实用性很高。

附图说明

图1为一种真空镀膜设备的结构示意图。

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