[实用新型]一种光学非接触式压力传感器

权利要求书

1.一种光学非接触式压力传感器，其特征在于：它包括激光器、半反半透镜、第一反射镜、相位补偿板、滤光透镜、第二反射镜、可移动反射镜、水平支板、第一滑动支杆、第一平行导轨、第一弹簧、第二滑动支杆、第二平行导轨、第二弹簧、固定水平台、CCD相机及信号处理机；

所述激光器、半反半透镜、第一反射镜、相位补偿板、滤光透镜及第二反射镜构成迈克尔逊干涉系统，经过第一反射镜的激光光路为参考光路，经过相位补偿板、滤光透镜、第二反射镜及可移动反射镜的激光光路为信号光路，所述滤光透镜对所述激光器产生激光透过率大于90％，所述激光器产生的激光波长为380nm至760nm之间的可见光波段；

所述第一平行导轨与第二平行导轨相互平行，并与所述固定水平台垂直；

所述第一滑动支杆和第二滑动支杆在压力作用下会分别沿所述第一平行导轨和第二平行导轨竖直向下运动；

所述水平支板为刚性结构；

所述可移动反射镜水平固定在所述水平支板上；

所述CCD相机实时采集迈克尔逊干涉系统的干涉条纹，并将采集的干涉条纹图像信息传递给信号处理机；

所述信号处理机对干涉条纹图像信息实时进行帧间强度相关处理，得到干涉条纹的相位变化值，并进一步解算出作用在水平支板上的压压力大小。

2.根据权利要求1所述的一种光学非接触式压力传感器，其特征在于：所述水平支板在向下的压力作用下，所述第一滑动支杆与第二滑动支杆分别压缩第一弹簧与第二弹簧向下运动，同时推动可移动反射镜向下移动，导致CCD相机采集到的迈克尔逊干涉系统的干涉条纹发生移动。

3.根据权利要求1所述的一种光学非接触式压力传感器，其特征在于：所述信号处理机对干涉条纹图像信息进行实时处理的核心算法为帧间强度相关算法，所述帧间强度相关算法先提取干涉图像的图像系数矩阵，再对相邻干涉图像的系数矩阵进行强度相关运算，通过最小二乘迭代得到每帧干涉图样的相位变化值。

4.根据权利要求1所述的一种光学非接触式压力传感器，其特征在于：所述的第一反射镜与可移动反射镜为镜面反射镜或漫反射镜。