[实用新型]一种三维平行板电极半导体探测器及探测装置

权利要求书

1.一种三维平行板电极半导体探测器，其特征在于，三维平行板电极半导体探测器设置有：

阴极电极和阳极电极；

阴极电极和阳极电极通过贯穿刻蚀，离子注入或扩散掺杂工艺形成在半导体基体上。

2.如权利要求1所述的三维平行板电极半导体探测器，其特征在于，半导体基体上通过贯穿刻蚀，离子注入或扩散掺杂工艺形成第一电极板、第二电极板。

3.如权利要求2所述的三维平行板电极半导体探测器，其特征在于，第一电极板、第二电极板上面镀有用于引出信号或者加电压的金属层。

4.如权利要求2所述的三维平行板电极半导体探测器，其特征在于，三维平行板电极半导体探测器的底部长有与上面相同厚度的二氧化硅。

5.一种如权利要求1所述三维平行板电极半导体探测器的三维平行板电极半导体探测装置，其特征在于，三维平行板电极半导体探测阵列装置由多个三维平行板电极半导体探测器单元串联形成。