[实用新型]一种高性能裸露式电加热器

说明书

本实用新型公开了一种高性能裸露式电加热器，包括正极板、负极板、加热元件、支撑件、绝缘件、反射板、正极柱、负极柱，加热元件、正极板、负极板上下层叠间距设置，加热元件在正极板、负极板上方，加热元件、正极板、负极板之间均设有反射板，加热元件通过穿设于正极板、负极板、反射板的支撑件进行固定，正极柱、负极柱分别设置在加热元件的两端，并与正极板、负极板对应连接，绝缘件设置在导电件与结构件之间进行绝缘。本实用新型的优点是：电加热器结构设计保证温度场水平、均匀性和稳定性，连续加热，结构稳固，电性能可靠，不会发生短路、断路等故障，符合MOVCD工艺的需求，可替代国外产品，降低成本。

技术领域

本实用新型涉及电加热器，特别是MOVCD设备的电加热装置。

背景技术

MOCVD(Metal-organic Chemical Vapor Deposition)是指一种在高真空、高温条件下在惰性衬底上外延生长特殊人工晶体材料的工艺方法，例如以Ⅲ(B、Al、Ga、In) 族、Ⅱ(Be、Mg、Ca、Sr、Ba)族元素的有机化合物，以及V族(N、P、As、Sb)、Ⅵ(O、S、Se、Te)族元素的氢化物等作为晶体生长源材料，以热分解反应方式在硅单晶、蓝宝石等衬底上，生长各种Ⅲ-V族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。通常，人们也把实现MOCVD工艺的设备，简单称为MOCVD。 MOCVD设备主要作为生产LED(Light Emitting Diode，发光二极管)、MMIC(Monolithic Microwave Integrated Circuit，单片微波集成电路)、VLSI(Very Large Scale Integration，超大规模集成电路)等电子芯片的关键设备，因而得到超常规的发展，需求量不断增长。

由于MOCVD工艺是在高真空、高纯净、高温，并且使用非常特殊、昂贵的材料下实现的，其系统组成相当复杂，基本系统组成可以分为物质源供给、气体输运、反应室和加热、尾气处理、安全保护及报警、手动和自动控制、环境控制等7个系统。其中的加热工艺过去多采用高频感应加热，但其加热温度不够均匀，控制精度方面也存在问题，因而目前多采用电阻辐射加热。但是目前MOCVD系统及其生产技术主要为国外垄断，导致MOCVD设备的价格很高。

实用新型内容

实用新型目的：针对上述问题，本实用新型的目的是提供一种加热温度分布均匀的 MOVCD设备的电加热器，成本较低。

技术方案：一种高性能裸露式电加热器，包括正极板、负极板、加热元件、支撑件、绝缘件、反射板、正极柱、负极柱，所述加热元件、正极板、负极板上下层叠间距设置，所述加热元件在所述正极板、负极板上方，所述加热元件、正极板、负极板之间均设有所述反射板，所述加热元件通过穿设于所述正极板、负极板、反射板的所述支撑件进行固定，所述正极柱、负极柱分别设置在所述加热元件的两端，并与所述正极板、负极板对应连接，所述绝缘件设置在导电件与结构件之间进行绝缘。

进一步的，所述加热元件至少为两个，上下层叠间距设置。

进一步的，还包括设置在所述加热元件外圈的绝缘子，所述绝缘子通过所述支撑件进行固定。

进一步的，所述正极板、负极板、反射板之间通过支柱固定间距。

进一步的，所述电加热器的输入电源为50V直流电。

进一步的，所述支撑件与所述加热元件的接触部位为弧面，撑托加热元件。

有益效果：与现有技术相比，本实用新型的优点是：电加热器结构设计保证温度场水平、均匀性和稳定性，连续加热，结构稳固，电性能可靠，不会发生短路、断路等故障，符合MOVCD工艺的需求，可替代国外产品，降低成本。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为加热元件的结构示意图；