[实用新型]一种c向蓝宝石晶棒导向边的定向辅助装置

说明书

本实用新型提供了一种c向蓝宝石晶棒导向边的定向辅助装置，它包括基座、滚轮和三角标记板，基座为直角结构设置在XRD衍射仪测量板后面，滚轮分别呈45度角对称设置在基座两端，三角标记板垂直设置在基座左侧，三角标记板水平方向上设有中线，中线高度与XRD衍射仪测量板对齐。本实用新型能快速、准确测定蓝宝石晶棒的a向和r向，克服了定向过程中由于蓝宝石晶棒的流转引起效率低的问题。

一、技术领域

本实用新型涉及蓝宝石晶棒加工领域，具体涉及一种c向蓝宝石晶棒导向边的定向辅助装置。

二、背景技术

蓝宝石为α-Al₂O₃单晶，是由三个氧原子和两个铝原子以共价键型式结合而成，其晶体结构为六方晶格结构。蓝宝石晶体的最高工作温度可达1900℃，具有优异的光学性能、机械性能和化学稳定性。广泛的应用于固体激光、红外窗口、半导体衬底片、发光二极管衬底片等领域。

蓝宝石晶体具有各向异性的特点，在不同的方向上晶体的性质不同。蓝宝石衬底晶片是 LED 产业链的核心环节，由于蓝宝石晶体中r面为非极性面，r面的位置不同会影响蓝宝石器件的力学、热学、电学以及光学性能，以及蓝宝石器件后续加工的一致性和成品率。为了保证晶棒在后续加工过程中具有良好的一致性，选择a向作为导向边，通过a向与r向的位置保持一致来保证蓝宝石晶片的一致性。

目前，a向导向边的加工过程为：将晶棒垂直放置在XRD衍射仪上通过旋转晶棒确定出两种a向并标示在晶棒端面，然后在晶棒端面确定r向，最后根据r向要求选择a向进行导向边的加工。这种方法过程繁琐，需要两台XRD衍射仪以及两套工装夹具配合定向才能确定导向边的方向，会极大浪费设备利用率和操作时间，影响加工效率。

三、发明内容

本实用新型的目的是克服现有技术流程中存在的不足，提供一种高精度、高效率的一种c向蓝宝石晶棒导向边的定向辅助装置。

本实用新型的目的是这样实现的：定向辅助装置包括基座4、滚轮3和三角标记板2，基座为直角结构设置在XRD衍射仪测量板后面，滚轮分别呈45度角对称设置在基座两端，三角标记板垂直设置在基座左侧，三角标记板水平方向上设有中线1，中线高度与XRD衍射仪测量板对齐。

本实用新型还有这样一些特征：

1.所述辅助装置可适用于不同长度晶棒。

2.所述滚轮对称设置于三角标记板垂直边侧和尖角侧；滚轮与三角标记板中线的距离为三角标记板底边的一半。

本实用新型的有益效果有：

1.本实用新型能快速、准确测定蓝宝石晶棒的a向和r向。

2.本实用新型克服了定向过程中由于蓝宝石晶棒的流转引起效率低的问题。

3.本实用新型采用一台XRD衍射仪和辅助装置，通过旋转晶棒即可完成a向和r向的确定。

附图说明

图1为本实用新型辅助装置装配图；

图2为本实用新型辅助装置正视图；

图3为本实用新型辅助装置俯视图；

图4为本实用新型辅助装置侧视图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本发明进行详细说明。

结合图1-4，本实施例包括基座4、滚轮3和三角标记板2，基座为直角结构设置在XRD衍射仪测量板后面，滚轮分别呈45度角对称设置在基座两端，三角标记板垂直设置在基座左侧，三角标记板水平方向上设有中线1，中线高度与XRD衍射仪测量板对齐。本实施例具体步骤如下：