[实用新型]一种用于集成电路生产线上气瓶安全防护装置

说明书

本实用新型公开了一种用于集成电路生产线上气瓶安全防护装置，包括气管、管夹、气缸固定板、气缸、防护托架、半圆形防护板和气瓶接头螺母，所述气管通过管夹固定在气缸固定板上端面，所述气缸固定板下端面固定气缸，气缸的导杆末端连接防护托架，防护托架上焊接半圆形防护板，所述气瓶接头螺母连接气瓶，并位于半圆形防护板之中；所述气缸连接有电磁阀，电磁阀连接继电器，继电器连接气瓶柜PLC，气瓶柜PLC连接气体管理系统的主控制板。该装置一体式结构紧凑、简单，操作、控制简单方便；智能、安全、可靠，PLC自动控制；控制与执行机构安全隔离，达到集成电路生产线的安全防爆要求。

技术领域

本实用新型涉及安全防护装置，尤其涉及一种用于集成电路生产线上气瓶安全防护装置。

背景技术

传统的集成电路生产线上气瓶安全防护装置，是一个圆筒状的塑料防呆帽扣在气瓶阀门上。由于气体系统是专为FAB内的设备、机台提供气体，是整个生产流水线的一个非常重要的环节，而且气体系统包含大宗气体：N₂、O_2、Ar；特殊气体：SiH₄、NF₃、CH₄、B₂H₆（2%）、CO₂、TMBPH3(0.5)等，其中有些气体是有毒气体，此种方法虽然可以实现在人工更换气瓶时起到一定的防护警示作用，但这种方法对人员的综合素质及工作责任心要求较高，必须人为的去细心核对需要更换气瓶的状态信息、新气瓶的气体信息和气柜信息的一致性，接换料，这样效率低，久而久之难免因人为因素或工作疏忽而错换气瓶，导致气体泄露或人员伤亡。

发明内容

本实用新型为了解决现有技术的上述不足，提供了一种用于集成电路生产线上气瓶安全防护装置，该装置可以有效可靠的起到安全防护作用，提高工作效率。

本实用新型的上述目的通过以下的技术方案来实现：一种用于集成电路生产线上气瓶安全防护装置，包括气管、管夹、气缸固定板、气缸、防护托架、半圆形防护板和气瓶接头螺母，所述气管通过管夹固定在气缸固定板上端面，所述气缸固定板下端面固定气缸，气缸的导杆末端连接防护托架，防护托架上焊接半圆形防护板，所述气瓶接头螺母连接气瓶，并位于半圆形防护板之中；所述气缸连接有电磁阀，电磁阀连接继电器，继电器连接气瓶柜PLC，气瓶柜PLC连接气体管理系统的主控制板。

当气瓶处于正常供气工作状态时，气缸伸出，半圆形防护板起到安全防护作用。该装置只有在操作人员录入本人个人信息、气瓶信息、气柜信息及需要更换的气瓶信息后，经气体管理系统综合判断完全吻合符合更换条件后，由气体管理系统向气瓶柜控制PLC发送允许更换指令，PLC控制输出继电器，使得电磁阀得电，防护装置的气缸带动半圆形防护板一起收回，收回到位后，操作人员才可以自行更换气瓶。

本实用新型与现有技术相比的优点是：该装置主要功能是实现防止在人为对气瓶的更换过程中由于人为因素或工作疏忽而引起的换错气瓶或气体泄露。其一体式结构紧凑、简单，操作、控制简单方便；智能、安全、可靠，PLC自动控制；控制与执行机构安全隔离，达到集成电路生产线的安全防爆要求。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型的立体结构示意图。

具体实施方式

下面结合实施例对本发明进一步详述。