[实用新型]一种用于曝光机的光学玻璃有效
| 申请号: | 201820230569.0 | 申请日: | 2018-02-09 |
| 公开(公告)号: | CN207817404U | 公开(公告)日: | 2018-09-04 |
| 发明(设计)人: | 黄金元;张冀仁 | 申请(专利权)人: | 无锡深南电路有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 董建林;闫方圆 |
| 地址: | 214000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 导气槽 上玻璃 下玻璃 光学玻璃 本实用新型 矩形框形状 气嘴安装孔 定位缺口 放置位置 曝光机 下表面 卡合 线路板生产 曝光效率 下菲林 菲林 匹配 合格率 应用 | ||
1.一种用于曝光机的光学玻璃,其特征在于:包括相卡合的上玻璃面板(1)和下玻璃面板(2),
所述上玻璃面板(1)的下表面设置有矩形框形状的上导气槽(3),所述下玻璃面板(2)的下表面设置有与上导气槽(3)相匹配的矩形框形状的下导气槽(4),所述上玻璃面板(1)、下玻璃面板(2)相卡合时,所述上导气槽(3)、下导气槽(4)相卡合,所述上导气槽(3)的两侧边均设置有呈上、下分布的第一气嘴安装孔(301),所述下导气槽(4)的两侧边均设置有呈上、下分布的第二气嘴安装孔(401),
所述上导气槽(3)两侧边的中部内侧均设置有上菲林放置位置定位缺口(302),所述下导气槽(4)两侧边的中部内侧均设置有下菲林放置位置定位缺口(402)。
2.根据权利要求1所述的一种用于曝光机的光学玻璃,其特征在于:所述上菲林放置位置定位缺口(302)位于下菲林放置位置定位缺口(402)的正上方。
3.根据权利要求1所述的一种用于曝光机的光学玻璃,其特征在于:所述上玻璃面板(1)的端角均为防撞倒角(101)。
4.根据权利要求1所述的一种用于曝光机的光学玻璃,其特征在于:所述上玻璃面板(1)、下玻璃面板(2)的厚度均为6mm,偏差在±0.1mm。
5.根据权利要求1所述的一种用于曝光机的光学玻璃,其特征在于:所述上玻璃面板(1)、下玻璃面板(2)的透光率为92%,弯曲度为±0.5/㎡。
6.根据权利要求1所述的一种用于曝光机的光学玻璃,其特征在于:所述上导气槽(3)下侧边的内侧设置有呈左、右分布的上板件感知端口(303),所述下导气槽(4)下侧边的内侧设置有呈左、右分布的下板件感知端口(403),所述下板件感知端口(403)位于对应侧的上板件感知端口(303)的正下方。
7.根据权利要求6所述的一种用于曝光机的光学玻璃,其特征在于:对应侧的上板件感知端口(303)、下板件感知端口(403)内设置有红外对管。
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