[实用新型]石英坩埚喷涂系统中加热单元运行状态的智能检测装置

说明书

本实用新型公开了一种石英坩埚喷涂系统中加热单元运行状态的智能检测装置，坩埚加热板上设置有模具加热管组，模具加热管组与三相供电电路相连，它包括控制器、电流传感器和报警装置，电流传感器连接在三相供电电路的零线上，以便通过电流传感器检测经过零线的电流值，电流传感器和控制器的信号输入端相连，以便电流传感器将检测到的电流值反馈至控制器；报警装置的信号输入端和控制器相连，以便控制器接收到的电流值超出控制器所设置的电流值区间时，控制器控制报警装置动作。本实用新型在坩埚加热板的模具加热管出现故障后可通过电流的变动及时检测出，并通过报警装置使工人知晓，便于工人及时对坩埚加热板进行检修、更换，以防因加热不均造成产品缺陷。

技术领域

本实用新型涉及一种石英坩埚喷涂系统中加热单元运行状态的智能检测装置。

背景技术

目前，在坩埚加热板的个别模具加热管出现故障后，工作人员难以及时发现，导致加热不均，进而影响坩埚加热板的加热效果，也影响坩埚喷涂的生产工艺。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种石英坩埚喷涂系统中加热单元运行状态的智能检测装置，它在坩埚加热板的模具加热管出现故障后可通过电流的变动及时检测出，并通过报警装置使工人及时知晓，便于工人及时对坩埚加热板进行检修、更换，以防因加热不均造成产品缺陷。

为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种石英坩埚喷涂系统中加热单元运行状态的智能检测装置，加热单元包括坩埚加热板，坩埚加热板上设置有模具加热管组，模具加热管组与三相供电电路相连，以便通过三相供电电路为模具加热管组供电，它包括：

控制器；

电流传感器，所述电流传感器连接在三相供电电路的零线上，以便通过电流传感器检测经过零线的电流值，所述电流传感器和控制器的信号输入端相连，以便电流传感器将检测到的电流值反馈至控制器；

报警装置，所述报警装置的信号输入端和控制器相连，以便控制器接收到的电流值超出控制器所设置的电流值区间时，所述控制器控制报警装置动作。

进一步，所述模具加热管组包括至少三个模具加热管，所有模具加热管呈星型连接，所述模具加热管的一端连接在三相供电电路的相线上，所述模具加热管的另一端连接在三相供电电路的零线上。

进一步，所述模具加热管设置有八个，三相供电电路的A相线和B相线上分别连接有三个模具加热管，所述三相供电电路的C相线上连接有两个模具加热管。

进一步提供了一种报警装置的具体结构，所述报警装置包括蜂鸣器和/或报警灯，所述蜂鸣器和/或报警灯与控制器相连，以便通过控制器控制蜂鸣器响和/或报警灯亮。

采用了上述技术方案后，当坩埚加热板的模具加热管出现断路时，会引起零线中的电流值产生变化，当电流传感器检测到的电流值超出控制器中设置的电流值区间时，所述控制器控制报警装置动作，以方便工人及时知悉，并对坩埚加热板进行检修、更换，进而保证了坩埚喷涂的质量。

附图说明

图1为本实用新型的石英坩埚喷涂系统中加热单元运行状态的智能检测装置原理框图；

图2为本实用新型的模具加热管的接线图。

具体实施方式

为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明。

如图1、2所示，一种石英坩埚喷涂系统中加热单元运行状态的智能检测装置，加热单元包括坩埚加热板，坩埚加热板上设置有模具加热管组，模具加热管组与三相供电电路相连，以便通过三相供电电路为模具加热管组供电，它包括：

控制器1；