[实用新型]一种多边形多晶硅铸锭装置有效

专利信息
申请号: 201820033520.6 申请日: 2018-01-09
公开(公告)号: CN207987352U 公开(公告)日: 2018-10-19
发明(设计)人: 周心怡;詹国彬;黄建明 申请(专利权)人: 上海东洋炭素有限公司
主分类号: C30B28/06 分类号: C30B28/06;C30B29/06;C30B29/60
代理公司: 北京知呱呱知识产权代理有限公司 11577 代理人: 李芙蓉;冯建基
地址: 201611 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 多晶硅铸锭 石墨坩埚 加热器 保温毡 隔热笼 石英坩埚 钢笼 本实用新型 环绕设置 排列设置 周边设置 装置能耗 八边形 产能 套置 垂直 环绕 外围
【权利要求书】:

1.一种多边形多晶硅铸锭装置,其特征在于,所述多边形多晶硅铸锭装置包括钢笼、隔热笼保温毡、加热器、石英坩埚和石墨坩埚组件,所述石墨坩埚组件在垂直其轴线的截面上的形状为八边形,在所述石墨坩埚组件内排列设置石英坩埚,所述加热器环绕所述石墨坩埚组件的周边设置,所述隔热笼保温毡环绕设置在所述加热器的外围,所述钢笼套置在所述隔热笼保温毡的外侧。

2.根据权利要求1所述的多边形多晶硅铸锭装置,其特征在于,所述钢笼的内侧的宽度为1652mm×1652mm,所述钢笼的内侧的最大对角尺寸为1786mm。

3.根据权利要求2所述的多边形多晶硅铸锭装置,其特征在于,所述加热器包括四个面加热器和四个角加热器,所述四个面加热器两两相对设置,所述角加热器设置在两个相邻所述面加热器之间,并将两个相邻所述面加热器电连接,形成八边形结构的加热器,而且,相对设置的两个所述面加热器之间的内侧距离为1376mm,相对设置的两个所述角加热器之间的内侧距离为1535mm。

4.根据权利要求3所述的多边形多晶硅铸锭装置,其特征在于,所述石墨坩埚组件包括一个石墨坩埚护板、一个石墨坩埚盖板和一个石墨坩埚底板,所述石墨坩埚护板设置在所述石英坩埚的外围,并在垂直所述石墨坩埚组件的轴线的截面上环绕成八边形形状,所述石墨坩埚盖板设置在所述石墨坩埚护板的顶部,所述石墨坩埚底板设置在所述石墨坩埚护板的底部。

5.根据权利要求4所述的多边形多晶硅铸锭装置,其特征在于,所述石墨坩埚护板的相对面距离为1300mm,对角距离为1435mm。

6.根据权利要求1所述的多边形多晶硅铸锭装置,其特征在于,在所述钢笼的顶部和底部设置四角梁式钣金,所述四角梁式钣金通过螺栓和螺母固定于所述钢笼的顶部和底部。

7.根据权利要求1所述的多边形多晶硅铸锭装置,其特征在于,所述多边形多晶硅铸锭装置还包括热交换组件,所述热交换组件设置在所述石墨坩埚组件的底部,用于控制所述石墨坩埚组件底部的温度。

8.根据权利要求7所述的多边形多晶硅铸锭装置,其特征在于,所述多边形多晶硅铸锭装置还包括底保温毡,所述底保温毡设置在所述热交换组件的下方。

9.根据权利要求8所述的多边形多晶硅铸锭装置,其特征在于,所述多边形多晶硅铸锭装置还包括碳碳复合材料板,所述碳碳复合材料板设置在所述底保温毡的上表面;

或者,对所述底保温毡的表面进行硬化处理,以增强所述底保温毡的隔离性。

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