[实用新型]一种基于位移测量的微小液体流量测量装置

权利要求书

1.一种基于位移测量的微小液体流量测量装置，其特征在于，包括底板(1)和通过固定装置设置在底板(1)上的装置本体(7)；装置本体(7)为筒状结构，左端连接进液口(13)；装置本体(7)内设置有与其内壁滑动配合的活塞(8)；还包括用于测量活塞(8)相对装置本体(7)位移量的位移传感器(3)。

2.根据权利要求1所述的一种基于位移测量的微小液体流量测量装置，其特征在于，所述位移传感器(3)为接触式位移传感器，位移传感器(3)的感知头与装置本体(7)的轴线位于同一直线。

3.根据权利要求1所述的一种基于位移测量的微小液体流量测量装置，其特征在于，所述位移传感器(3)通过第二固定装置固定设置在底板(1)上。

4.根据权利要求2所述的一种基于位移测量的微小液体流量测量装置，其特征在于，所述位移传感器(3)的感知头对应位置设置有推块(6)，推块(6)下部设置有用于固定推块(6)的滑块(5)；滑块(5)设置在位于底板(1)上的线性模组(4)上；感知头接触活塞(8)远离进液口(13)一端。

5.根据权利要求1所述的一种基于位移测量的微小液体流量测量装置，其特征在于，所述位移传感器(3)为激光非接触式传感器，位移传感器(3)的激光线与装置本体(7)轴线位于同一直线。