[发明专利]一种光热电三场耦合器件测试装置

权利要求书

1.一种光热电三场耦合器件测试装置，其特征在于：包括盒体(100)以及顶盖(200)，所述顶盖(200)设有透光孔(210)，所述盒体(100)的内部设有铸钢块(300)、用于调节铸钢块(300)温度的调温机构、探针(410)以及插接座(420)，所述探针(410)的一端与插接座(420)电性连接，所述插接座(420)通过一导电构件延伸至盒体(100)外部；所述顶盖(200)的上部设有光强可调的调光机构，所述调光机构输出的光通过透光孔(210)进入到盒体(100)中并照射在铸钢块(300)上表面；所述测试装置还包括PID控制器、上位机以及电测试仪，所述调温机构以及调光机构分别与PID控制器相连接，所述插接座(420)通过一导电构件与电测试仪相连接，所述电测试仪以及PID控制器分别与上位机通信连接。

2.根据权利要求1所述的一种光热电三场耦合器件测试装置，其特征在于：所述调温机构包括发热片(510)、液氮瓶、液氮泵以及液氮散热管(520)，所述发热片(510)以及液氮泵分别与PID控制器相连接，所述液氮泵通过液氮散热管(520)与液氮瓶相连接，所述发热片(510)以及液氮散热管(520)均与铸钢块(300)相接触。

3.根据权利要求1所述的一种光热电三场耦合器件测试装置，其特征在于：所述调光机构包括氖灯(610)、调光驱动器以及凸透镜(620)，所述PID控制器通过调光驱动器与氖灯(610)相连接，所述凸透镜(620)置于氖灯(610)与顶盖(200)的透光孔(210)之间。

4.根据权利要求1至3任一项所述的一种光热电三场耦合器件测试装置，其特征在于：所述测试装置还包括抽真空机构，所述抽真空机构包括数显抽气泵，所述顶盖(200)的透光孔(210)处设有透光窗(220)，所述数显抽气泵通过一导管将盒体(100)内部的空气抽出，所述数显抽气泵与PID控制器相连接。

5.根据权利要求4所述的一种光热电三场耦合器件测试装置，其特征在于：所述测试装置还包括用于防止透光窗(220)出现雾化状况的防雾化机构，所述防雾化机构包括发热丝(710)，所述发热丝(710)设置在顶盖(200)内部，且与透光窗(220)相接触，所述发热丝(710)与PID控制器相连接。

6.根据权利要求5所述的一种光热电三场耦合器件测试装置，其特征在于：所述防雾化机构还包括通气气管(720)以及气泵，所述通气气管(720)一端与气泵相连接，另一端通过顶盖(200)内部延伸至透光窗(220)处，所述气泵与PID控制器相连接。

7.根据权利要求6所述的一种光热电三场耦合器件测试装置，其特征在于：所述顶盖(200)与盒体(100)的接触位置处设有垫圈(110)。

8.根据权利要求2所述的一种光热电三场耦合器件测试装置，其特征在于：所述液氮散热管(520)包括依次连接的输入段(521)、散热段(522)以及输出段(523)，所述液氮瓶与液氮散热管(520)的输入段(521)相连接，所述液氮泵与液氮散热管(520)的输出段(523)相连，所述液氮散热管(520)的散热段(522)穿过铸钢块(300)，所述散热段(522)在铸钢块(300)中来往弯折。

9.根据权利要求1所述的一种光热电三场耦合器件测试装置，其特征在于：所述测试装置还包括散热水管以及循环水冷机，所述散热水管设在盒体(100)的盒壁内部，所述散热水管的两端均与循环水冷机相连接，所述循环水冷机与PID控制器相连接。