[发明专利]一种用于加宽红外增强透射谱的薄膜金属结构在审
| 申请号： | 201811607997.1 | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN109581552A | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 谢修敏;宋海智;徐强;代千;陈剑;袁鎏;张伟;余丽波 | 申请（专利权）人： | 西南技术物理研究所 |
| 主分类号： | G02B5/00 | 分类号： | G02B5/00;G02B5/18 |
| 代理公司： | 中国兵器工业集团公司专利中心 11011 | 代理人： | 刘二格 |
| 地址： | 610041 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 狭缝 渐变 周期性变化 薄膜金属 加宽 二维孔阵列 红外增强 透射谱 周期性结构 光栅 二维金属 排列方式 透射光谱 孔阵列 入射光 相邻列 相邻行 波长 透射 | ||
1.一种用于加宽红外增强透射谱的薄膜金属结构，其特征在于，包括：本底，本底上形成有狭缝或者二维孔阵列；本底上为狭缝时，相邻狭缝距离渐变且成周期性变化；本底上为二维孔阵列时，相邻列孔间距渐变且成周期性变化，相邻行孔间距渐变且成周期性变化。
2.如权利要求1所述的用于加宽红外增强透射谱的薄膜金属结构，其特征在于，所述本底上为狭缝时，薄膜金属结构为一维薄膜金属光栅；本底上为二维孔阵列时，薄膜金属结构为二维金属孔阵列。
3.如权利要求2所述的用于加宽红外增强透射谱的薄膜金属结构，其特征在于，所述本底采用金或银。
4.如权利要求3所述的用于加宽红外增强透射谱的薄膜金属结构，其特征在于，所述一维薄膜金属光栅中的相邻狭缝距离按照线性或非线性变化方式渐变。
5.如权利要求4所述的用于加宽红外增强透射谱的薄膜金属结构，其特征在于，所述一维薄膜金属光栅中的相邻狭缝距离按照等差或等比变化方式渐变。
6.如权利要求5所述的用于加宽红外增强透射谱的薄膜金属结构，其特征在于，所述二维金属孔阵列中的相邻列孔间距按照线性或非线性变化方式渐变。
7.如权利要求6所述的用于加宽红外增强透射谱的薄膜金属结构，其特征在于，所述二维金属孔阵列中的相邻列孔间距按照等差或等比变化方式渐变。
8.如权利要求7所述的用于加宽红外增强透射谱的薄膜金属结构，其特征在于，所述二维金属孔阵列中的相邻行孔间距按照线性或非线性变化方式渐变。
9.如权利要求8所述的用于加宽红外增强透射谱的薄膜金属结构，其特征在于，所述二维金属孔阵列中的相邻行孔间距按照等差或等比变化方式渐变。
10.如权利要求9所述的用于加宽红外增强透射谱的薄膜金属结构，其特征在于，所述薄膜金属光栅中的相邻狭缝距离按照等差变化方式渐变时，狭缝宽度为w且小于入射波长；相邻狭缝距离为d＝d0(1-Nρ)，式中d0为与该薄膜金属光栅透射峰位置相同的常规金属光栅常数，N为自然数，ρ为相邻狭缝距离的变化梯度，0<ρ<1。
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