[发明专利]磷酸铁样品的扫描电镜测试方法在审
| 申请号： | 201811582972.0 | 申请日： | 2018-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN109596652A | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 何雅;孙杰;许中柱 | 申请（专利权）人： | 湖北融通高科先进材料有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/22 | 分类号： | G01N23/22 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 严政 |
| 地址： | 435100 湖北省黄*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 磷酸铁 扫描电镜测试 场发射扫描电镜 正极 锂离子电池 测试 表面结构 导电碳胶 颗粒结构 磷酸铁锂 掩盖材料 真实表面 吹扫 镀膜 荷电 制样 清晰 | ||
【权利要求书】：
1.一种磷酸铁样品的扫描电镜测试方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：
1)制样：将磷酸铁粉末撒在导电碳胶上，然后进行吹扫；
2)扫描电镜测试：使用场发射扫描电镜对制得的样品进行测试。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在步骤1)中，用牙签蘸取磷酸铁粉末，撒在导电胶上。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述场发射扫描电镜的分辨率要求：电子束电压15kv时，分辨率≤1.0nm；电子束电压1kv时，分辨率≤2.0nm。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在步骤2)中，测试的参数条件包括：工作距离要求＜5.0mm，加速电压＜1.1kv。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，在步骤2)中，测试的参数条件包括：工作距离为1.5-4.8mm，加速电压为0.5-1kv。
6.如权利要求1-5中任意一项所述的方法，其特征在于，所述场发射扫描电镜的镜筒外设置有二次电子收集探测器。
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