[发明专利]一种可用于多片渐变滤光片精确对准的方法有效

专利信息
申请号: 201811537377.5 申请日: 2018-12-15
公开(公告)号: CN109683270B 公开(公告)日: 2020-07-21
发明(设计)人: 张建;高劲松;王笑夷 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: G02B7/00 分类号: G02B7/00
代理公司: 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 代理人: 曹卫良
地址: 130033 吉林省长春*** 国省代码: 吉林;22
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 渐变 滤光 精确 对准 方法
【权利要求书】:

1.一种可用于多片渐变滤光片精确对准的方法,其特征在于,包括下述步骤:

步骤S110:沿任意一渐变滤光片的通道方向的两侧分别制作对准标尺;

步骤S120:分别测试两条所述对准标尺相应刻度处的光谱中心波长;

步骤S130:确定所述渐变滤光片的通道基线中心波长λ1,获取两条所述对准标尺在中心波长为λ1时的刻度数值;

步骤S140:将两条所述对准标尺在中心波长为λ1的刻度位置进行连线,获得中心波长λ1的通带位置,作为渐变滤光片的第一基准线;

步骤S150:根据所述渐变滤光片的尺寸将所述第一基准线平移获得第二基准线,在所述滤光片居中位置以所述第一基准线、所述第二基准线为基准作两条垂线,形成的四条直线确定的区域即为滤光片的工作区域;

步骤S160:根据所述滤光片的工作区域对滤光片进行裁切;

步骤S170:重复所述步骤S110~步骤S150,确定另一片渐变滤光片的工作区域,并作对准标记;

步骤S180:按照对准标记将裁切完的滤光片嵌入所述对准标记确定的区域内进行对准固定。

2.如权利要求1所述的可用于多片渐变滤光片精确对准的方法,其特征在于,在步骤S110中,所述对准标尺采用复制光刻方法制作,最小尺度为0.1mm。

3.如权利要求1所述的可用于多片渐变滤光片精确对准的方法,其特征在于,在步骤S120中,测试采样以1mm为间隔,获得相应刻度与该刻度处光谱中心波长的对应关系。

4.如权利要求1所述的可用于多片渐变滤光片精确对准的方法,其特征在于,在步骤S180中,采用胶合或机械结构固定的方式进行对准固定。

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