[发明专利]一种聚合物树脂及其制备方法和应用在审

专利信息
申请号: 201811525923.3 申请日: 2018-12-13
公开(公告)号: CN109679023A 公开(公告)日: 2019-04-26
发明(设计)人: 许箭;秦龙;袁华;汪武平;耿文练;花雷;陈一鸣 申请(专利权)人: 儒芯微电子材料(上海)有限公司
主分类号: C08F222/40 分类号: C08F222/40;C08F220/14;C08F216/02;C09J135/00
代理公司: 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 代理人: 杨飞
地址: 201306 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 聚合物树脂 个碳原子 环状烃类 直链 胶组合物 金属剥离 苯基 制备方法和应用 芳香基团 烷烃基团 酰胺基团 醚类 苄基 酯基 制备 应用
【权利要求书】:

1.一种聚合物树脂,其特征在于,所述聚合物树脂具有如下通式:

其中,R1、R2、R3、R4、R6、R8中的每个选自H、苯基或含1-4个碳原子的烷烃基团;

R5选自含1-10个碳原子的直链、支链或环状烃类基团,苯基或苄基;

R7选自1-10个碳原子的直链、支链或环状烃类基团;

X选自含1-10个碳原子的直链、支链、环状烃类基团,醚类基团,酯基,酰胺基团或芳香基团。

2.根据权利要求1所述的聚合物树脂,其特征在于,所述聚合物树脂由马来酰亚胺单体、N-取代的马来酰亚胺单体、丙烯酸酯类单体和含六氟异丙醇结构单体共聚而成。

3.根据权利要求2所述的聚合物树脂,其特征在于,所述N-取代的马来酰亚胺单体选自

4.根据权利要求2所述的聚合物树脂,其特征在于,所述丙烯酸酯类单体选自甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸叔丁酯或丙烯酸叔丁酯。

5.根据权利要求2所述的聚合物树脂,其特征在于,所述含六氟异丙醇结构单体选自

6.根据权利要求1所述的聚合物树脂,其特征在于,所述聚合物树脂的重均分子量范围为10000-200000,分子量分布为1-5。

7.根据权利要求1所述的聚合物树脂,其特征在于,所述马来酰亚胺单体按重量计占所述聚合物树脂的单体的0.1%-20%,所述N-取代的马来酰亚胺单体按重量计占所述聚合物树脂的单体的20%-70%,所述丙烯酸酯类单体按重量计占所述聚合物树脂的单体的1%-50%,所述含六氟异丙醇结构单体按重量计占所述聚合物树脂的单体的0.5%-30%。

8.一种制备权利要求1-7中任一项所述的聚合物树脂的方法,其特征在于,所述方法包括如下步骤:

a、将马来酰亚胺单体、N-取代的马来酰亚胺单体、丙烯酸酯类单体和含六氟异丙醇结构单体溶于反应溶剂中,在氮气保护下,加热至50-120℃,随后加入引发剂,在50-120℃下磁力搅拌反应5-36h;

b、将步骤a反应得到的混合溶液在甲醇或水中沉淀析出,析出的沉淀经真空干燥6-48h,即得到所述聚合物树脂。

9.根据权利要求8所述的方法,其特征在于,所述引发剂选自偶氮二异丁腈(AIBN)、偶氮二异戊腈、过氧化二苯甲酰(BPO),所述引发剂占单体总摩尔数的0.02%-2%。

10.根据权利要求8所述的方法,其特征在于,所述反应溶剂选自四氢呋喃、二氧六环、二甲亚砜、N,N-二甲基甲酰胺、甲苯、二甲苯或氯苯。

11.一种金属剥离胶组合物,其特征在于,所述金属剥离胶组合物由权利要求1-7中任一项所述的聚合物树脂与碱溶调节剂、感光剂和光刻胶溶剂中的一种或多种复配制得,所述金属剥离胶组合物按重量计由如下组分组成:

聚合物树脂1-30%;

碱溶调节剂0-20%;

感光剂0-20%;

光刻胶溶剂50-98%。

12.根据权利要求11所述的金属剥离胶组合物,其特征在于,所述碱溶调节剂选自双酚A(BPA)或1,1,1-三(4-羟基苯基)乙烷(THPE)。

13.根据权利要求11所述的金属剥离胶组合物,其特征在于,所述感光剂选自2,1,4-三羟基二苯甲酮重氮萘醌磺酸酯、2,1,5-三羟基二苯甲酮重氮萘醌磺酸酯、香豆素6或7-氨基-4-甲基香豆素。

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