[发明专利]一种压力传感器

说明书

本发明提供一种压力传感器，所述压力传感器的接触面和承压面涂覆有派瑞林涂层。所述派瑞林涂层的涂覆方法包括以下步骤：对压力传感器中无需涂覆派瑞林涂层的部位进行掩膜处理，并对被涂覆面进行清洗；向涂覆机中加入派瑞林涂层的原料以及偶联剂，使用涂覆机在所述压力传感器的接触面和承压面上涂覆派瑞林涂层；涂覆结束后取出压力传感器上的掩膜。所述压力传感在测试精度不受影响的情况下使用寿命大幅提高。

技术领域

本发明属于传感器领域，涉及一种压力传感器，尤其涉及一种带有派瑞林涂层的压力传感器。

背景技术

目前市场上大部分压力传感器的受压面采用硅油类或者胶类来进行保护，也有部分压力传感器产品并不对受压面来进行保护，这就造成了一定的隐患。当压力传感器的受压面在无保护的情况下长期直接与水或者油类接触时，是否会对接触面造成一定的污染，从而影响压力传感器的输出精度，而采用硅油类或者胶类来进行保护的压力传感器也面临着同样的问题，所选取的硅油或者胶在长期与水或者油类接触时，会不会发生一些化学反应，从而影响输出精度或者导致胶或者硅油的脱落。随着时代的发展，纳米技术的应用逐渐步入人们的生活中，而Parylene涂层这一技术则可以和压力传感器结合起来应用，从而使压力传感器的受压面得到最好的保护。

Parylene采用真空气相沉积工艺制备(CVD)的0.1-100微米薄膜涂层，厚度均匀、致密无针孔、透明无应力、不含助剂、不损伤工件、有优异的电绝缘性和防护性，是当代最有效的防潮、防霉、防腐、防盐雾涂层材料。在不影响压力传感器所受到的压力精度的前提下，可以给压力传感器的受压面提供有效的持久保护。

CN 207472327 U公开了一种应用于涡街流量计传感器的电极，电极的检测导芯外部镀有Parylene膜。所述的Parylene膜的绝缘强度至少耐3KV。本实用新型还公开了应用有上述电极的涡街流量计传感器，以及应用有此种涡街流量计传感器的流量计。本实用新型通过在检测导芯上镀Parylene膜从而避免传统结构的绝缘套影响测量结果，使其测量精度更高，而且安装结构也更简单。本实用新型通过密封筒能够提高检测通孔的密封性能，从而使得传感器获得更好的密封，提高其使用寿命。

CN 202494536 U公开了一种派瑞林涂膜的压力传感器压敏元件，底座(5)上罩连有盖帽(3)，盖帽内的底座上连有硅压力芯片(1)，硅压力芯片与底座上所连针脚之间连有导电金属丝(2)，所述底座、硅压力芯片、导电金属丝和与导电金属丝连接的所述针脚端部的表面涂覆有派瑞林涂层(6)，所述表面涂覆派瑞林涂层的硅压力芯片、表面涂覆派瑞林涂层的导电金属丝和表面涂覆派瑞林涂层的与导电金属丝连接的所述针脚端部的外围一体性封连有硅胶层(4)。所述压力传感器中底座、硅压力芯片、导电金属丝和与导电金属丝连接的所述针脚端部的表面涂覆有派瑞林涂层，并非涂覆在压力传感器的接触面和承压面上。

发明内容

针对现有技术中存在的问题，本发明提供一种压力传感器，所述压力传感器的接触面和承压面涂覆有派瑞林涂层，所述压力传感在测试精度不受影响的情况下使用寿命大幅提高。

为达上述目的，本发明采用以下技术方案：

本发明提供一种压力传感器，所述压力传感器的接触面和承压面涂覆有派瑞林涂层。

作为本发明优选的技术方案，所述派瑞林涂层涂层的厚度为10～15μm，如10μm、10.5μm、11μm、11.5μm、12μm、12.5μm、13μm、13.5μm、14μm、14.5μm或15μm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

本发明中，当派瑞林涂层小于10μm时，无法对压力传感器底部受压面起到足够的保护作用，也无法保证受压面可以完全与接触的气，水，油等介质隔离开，当派瑞林涂层大于15μm时，过厚的涂层可能会影响到压力传感器受压面所感应到的压力，从而影响压力传感器的输出精度。

作为本发明优选的技术方案，所述派瑞林涂层的涂覆方法包括以下步骤：