[发明专利]一种多功能金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置

权利要求书

1.一种多功能金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置，其特征在于，该装置包括：绝缘层一、导电层一、内孔工件、气体喷淋头、热丝一、气体喷淋环、热丝二、基片、导电层二、绝缘层二、反应腔体、外部气源、水冷样品台一、水冷样品台二，具体结构如下：

装置设有密闭的反应腔体，反应腔体内按功能分成上下两部分：上部分在内孔工件内部沉积金刚石薄膜，下部分在基片上沉积金刚石薄膜；反应腔体上部分的一侧设有气体喷淋头，气体喷淋头通过管路与外部气源连接；反应腔体内上部设有中空的水冷样品台一，水冷样品台一的中空部分由外向内依次设有绝缘层一、导电层一、内孔工件、热丝一；反应腔体内中部设有气体喷淋环，气体喷淋环通过管路与外部气源连接，气体喷淋环下方于反应腔体内的中下部，沿水平方向平行依次布置热丝二、基片、导电层二、绝缘层二、水冷样品台二，热丝二位于气体喷淋环下方与基片上方之间，基片、导电层二、绝缘层二叠放于水冷样品台二上。

2.按照权利要求1所述的多功能金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置，其特征在于，反应腔体上部分的另一侧设有真空测控系统，真空测控系统通过真空探头伸至反应腔体内。

3.按照权利要求1所述的多功能金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置，其特征在于，绝缘层一、导电层一、内孔工件为环形结构依次接触，热丝一穿设于内孔工件中心且不与内孔工件接触。

4.按照权利要求1所述的多功能金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置，其特征在于，水冷样品台二通过转轴与外部调速电机相连接。

5.按照权利要求1所述的多功能金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置，其特征在于，反应腔体的外侧设有抽真空系统，抽真空系统通过两路伸至反应腔体内，所述的两路分别与水冷样品台二、水冷样品台一相对应。

6.按照权利要求1所述的多功能金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置，其特征在于，反应腔体的上方设置工件表面温度红外测温仪和热丝温度红外测温仪。

7.按照权利要求1所述的多功能金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置，其特征在于，直流加热电源二与热丝二形成串联回路，直流加热电源一与热丝一形成串联回路。

8.按照权利要求1所述的多功能金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置，其特征在于，偏压电源一的正极接到热丝一上，偏压电源一的负极接到导电层一上；偏压电源二的正极接到热丝二上，偏压电源二的负极接到绝缘层二上。