[发明专利]一种抗腐蚀耐高温内置样品池的超声分子束脉冲阀

权利要求书

1.一种抗腐蚀耐高温内置样品池的超声分子束脉冲阀,其特征在于：包括进气口（1）、阀盖（2）和阀体（6），阀体（6）的外周设有电磁线圈（7），阀盖（2）与阀体（6）的上端螺纹相连，阀体（6）下侧与真空法兰（18）密封连接，真空法兰（18）的中部设有样品池（22），样品池（22）的四周利用密封铜圈（16）与阀体（6）密封，样品池（22）的底部设有气体出射孔（23），气体出射孔（23）的内部由开关顶针（17）密封，载气由进气口（1）进入，在电磁线圈（7）的作用下，开关顶针（17）可以上下运动，开闭气体出射孔（23），在气体出射孔（23）打开的瞬间，载气夹带着样品池（22）内样品挥发的饱和蒸气通过气体出射孔（23）绝热膨胀进入高真空形成超声分子束。

2.根据权利要求1所述的一种抗腐蚀耐高温内置样品池的超声分子束脉冲阀，其特征在于：所述电磁线圈（7）的外围设有线圈保护罩（5），所述电磁线圈（7）与电源导线（3）相连。

3.根据权利要求1所述的一种抗腐蚀耐高温内置样品池的超声分子束脉冲阀，其特征在于：所述阀体（6）内部还设有主弹簧（8）、铁芯（9）、缓冲弹簧（14）和挡片（15），主弹簧（8）的两端分别与所述阀盖（2）的底部和所述开关顶针（17）的顶端接触，铁芯（9）将主弹簧（8）和所述开关顶针（17）的头部包围，铁芯（9）的下侧设有台阶面，台阶面通过缓冲弹簧（14）与挡片（15）弹性接触，铁芯（9）上开有第一通气孔（12），挡片（15）上开有与所述样品池（22）相连通的第二通气孔（24）。

4.根据权利要求1所述的一种抗腐蚀耐高温内置样品池的超声分子束脉冲阀，其特征在于：所述真空法兰（18）的底部设有加热丝（21），加热丝（21）的底部设有加热丝档板（25）。

5.根据权利要求1所述的一种抗腐蚀耐高温内置样品池的超声分子束脉冲阀，其特征在于：所述阀盖（2）的中部设有凸起部，凸起部的下表面通过O型密封圈（4）与所述阀体（6）的顶端固定相连。

6.根据权利要求1所述的一种抗腐蚀耐高温内置样品池的超声分子束脉冲阀，其特征在于：所述真空法兰（18）的侧面设有热电偶测温插孔（20），所述真空法兰（18）的外沿设有第一线槽（26）和第二线槽（28）。

7.根据权利要求1所述的一种抗腐蚀耐高温内置样品池的超声分子束脉冲阀，其特征在于：所述载气为惰性气体。

8.根据权利要求4所述的一种抗腐蚀耐高温内置样品池的超声分子束脉冲阀，其特征在于：所述加热丝（21）环绕成片状，所述加热丝（21）具有不锈钢保护外皮和氧化镁绝缘层，所述加热丝（21）的内芯和外皮之间由氧化镁绝缘。

9.根据权利要求1-8任一所述的一种抗腐蚀耐高温内置样品池的超声分子束脉冲阀，其特征在于：所述开关顶针（17）的材质为不锈钢。