[发明专利]一种玻璃不变色的蒸镀工艺有效
| 申请号： | 201811466035.9 | 申请日： | 2018-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN109371364B | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 周群飞;何有斌 | 申请（专利权）人： | 蓝思科技（长沙）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34;C23C14/26;C23C14/12;C03C17/42 |
| 代理公司： | 长沙七源专利代理事务所(普通合伙) 43214 | 代理人： | 周晓艳;郑隽 |
| 地址： | 410100 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 变色 工艺 | ||
【权利要求书】：
1.一种玻璃不变色的蒸镀工艺，其特征在于，包括以下步骤：
步骤1：离子源清洗，具体是：在氩气流量为1000sccm，氧气流量为600 sccm的条件下，以800V的电压对镀膜设备内的玻璃进行等离子清洗，清洗时间为600s；
步骤2：沉积Si3N4，具体是：对镀膜设备腔体内抽真空至4×10-5Torr，并通入氩气和氮气，采用射频溅射硅靶将硅靶中的硅原子溅射出来，硅原子与氮气在腔体内反应生成Si3N4，并沉积在玻璃表面，其中氩气流量为130sccm，氮气流量为100 sccm，射频溅射硅靶功率为5kW；
步骤3：镀膜料，具体是：采用阻蒸的方式加热膜料，阻蒸电压为3.1 V，阻蒸时间为360s，使膜料蒸发并沉积在Si3N4层上；
在步骤1之前需将贴好玻璃的伞具装入镀膜设备腔体内，更换镀膜设备中膜料，再关闭仓门将腔体内抽真空至8×10-5Torr；
在步骤3之后需要破真空，充气至大气压后，打开镀膜设备仓门取出伞具，摘下玻璃；
所述膜料为AF膜。
2.根据权利要求1所述的玻璃不变色的蒸镀工艺，其特征在于，所述镀膜设备为珐珂斯型蒸镀机。
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