[发明专利]减少刮痕和水痕的晶圆清洗承托装置

权利要求书

1.减少刮痕和水痕的晶圆清洗承托装置，其特征在于：其结构包括承托器(1)、水流内排结构(2)、底架(3)、操作握杆(4)，所述底架(3)为空心的长方形框体，所述底架(3)两条长边正中间设有操作握杆(4)，所述操作握杆(4)和底架(3)活动配合，所述底架(3)内部设有两个以上的水流内排结构(2)，所述水流内排结构(2)首尾两端皆设有承托器(1)，所述承托器(1)和水流内排结构(2)活动嵌合。

2.根据权利要求1所述的减少刮痕和水痕的晶圆清洗承托装置，其特征在于：所述承托器(1)由内流水孔(11)、环形内置板(12)、斗状放置体(13)、内流水道(14)、切口(15)组成，所述斗状放置体(13)顶端内壁设有环形内置板(12)，所述斗状放置体(13)为空心结构且其内部空间为内流水道(14)，所述环形内置板(12)上均匀钻有两个以上的内流水孔(11)，所述斗状放置体(13)顶端边缘处切有一道切口(15)，所述斗状放置体(13)底端和水流内排结构(2)活动嵌合。

3.根据权利要求2所述的减少刮痕和水痕的晶圆清洗承托装置，其特征在于：所述切口(15)深度达到环形内置板(12)以下1-1.5cm。

4.根据权利要求1或2所述的减少刮痕和水痕的晶圆清洗承托装置，其特征在于：所述水流内排结构(2)包括连通管(21)、底排(22)、排水道(23)，所述底排(22)为一字型结构，所述底排(22)首尾两端水平固定在底架(3)内壁，所述底排(22)正中间开有一个U型的排水道(23)，所述排水道(23)两端贯通底排(22)边缘，在U型排水道(23)转折处垂直连接有连通管(21)，所述连通管(21)末端贯通底排(22)上表面后与斗状放置体(13)底部相连接，所述连通管(21)连通斗状放置体(13)的内流水道(14)和排水道(23)。

5.根据权利要求4所述的减少刮痕和水痕的晶圆清洗承托装置，其特征在于：所述底架(3)与操作握杆(4)相邻的两边水平设有半圆长条(3a)。

6.根据权利要求4所述的减少刮痕和水痕的晶圆清洗承托装置，其特征在于：两两水流内排结构(2)上的四个承托器(1)在横向和纵向上都是相切的，且承托器(1)上的切口(15)与水平线的夹角都是45度。