[发明专利]一种可以有效降温的分子蒸发装置

权利要求书

1.一种可以有效降温的分子蒸发装置，其特征在于：包括金属挡片（1）、陶瓷压片（2）、内坩埚（3）、限位陶瓷（4）、电阻丝（5）、外坩埚（6）、冷却台（7）、热偶线（8）、四电极法兰（9）、冷却管（10）、旋转导入器（11）、空管（14）、CF16的法兰（15）、铜螺栓（18）、螺母（19）和旋转导入器的长螺杆（20），所述四电极法兰（9）中间位置插入一对矮的加热丝电极和一对高的热偶电极，一对矮的加热丝电极和一对高的热偶电极包裹着插入四电极法兰（9）的两个冷却管（10），两个冷却管（10）顶部与冷却台连通，冷却台为内部中空柱状，冷却台中间位置通过铜螺栓（18）和螺母（19）与外坩埚（6）底部连接，外坩埚（6）内部设有内坩埚（3），铜螺栓（18）顶部与内坩埚（3）底部接触，外坩埚（6）内部设有若干均匀设置的电阻丝（5）以及内坩埚（3）上设有热偶线（8），电阻丝（5）两端穿过外坩埚（6）后各连接一个矮的加热丝电极，热偶线（8）两端穿过外坩埚（6）后各连接一个高的热偶电极，一对高的热偶电极上部设有陶瓷压片（2）以及下部设有限位陶瓷（4），陶瓷压片（2）上与内坩埚（3）顶部开口的竖直方向设有出口孔，四电极法兰（9）底部通过空管（14）连接CF16的法兰（15），旋转导入器的长螺杆（20）依次穿过从下至上的CF16的法兰（15）和限位陶瓷（4），旋转导入器的长螺杆（20）上部设有金属挡片（1），调节旋转导入器的长螺杆（20）的上下位置将金属挡片（1）遮挡住或者打开出口孔。

2.根据权利要求1所述的可以有效降温的分子蒸发装置，其特征在于：所述一对矮的加热丝电极顶部均设有加热丝电极接线柱（13），每个加热丝电极接线柱（13）与电阻丝（5）一端连接。

3.根据权利要求1所述的可以有效降温的分子蒸发装置，其特征在于：所述一对高的热偶电极顶部均设有热偶电极接线柱（12），每个热偶电极接线柱（12）与热偶线（8）一端连接。

4.根据权利要求2或3所述的可以有效降温的分子蒸发装置，其特征在于：所述一对矮的加热丝电极底部连接直流电流源（16）的正负极，一对高的热偶电极底部连接PID温控（17），PID温控（17）连接直流电流源（16）。