[发明专利]监测设备

说明书

本发明从一种监测设备出发，所述监测设备用于借助至少一个检测单元(12)对至少一个MEMS致动器(22，26)进行运动监测，所述至少一个检测单元设置用于检测所述MEMS致动器(22，26)的至少一个运动信号，所述至少一个运动信号包括所述至少一个MEMS致动器(22，26)的至少一个运动特征值。提出：所述监测设备包括至少一个第一比较器单元(16)，所述至少一个第一比较器单元设置用于将所述至少一个MEMS致动器(22，26)的所述至少一个运动特征值与至少一个参考值进行比较。

技术领域

本发明从一种监测设备出发，所述监测设备用于借助至少一个检测单元对至少一个MEMS致动器进行运动监测，所述至少一个检测单元设置用于检测所述MEMS致动器的至少一个运动信号，所述至少一个运动信号包括所述至少一个MEMS致动器的至少一个运动特征值。提出：所述监测设备包括至少一个第一比较器单元，所述至少一个第一比较器单元设置用于将所述至少一个MEMS致动器的所述至少一个运动特征值与至少一个参考值进行比较。

本发明也涉及一种用于借助所述监测设备对至少一个MEMS致动器进行运动监测的方法。此外，本发明也涉及一种激光投影设备和一种激光投影仪。

背景技术

已经提出一种监测设备，该监测设备借助至少一个检测单元对至少一个MEMS致动器进行运动监测，所述至少一个检测单元设置用于检测MEMS致动器的至少一个运动信号，所述至少一个运动信号包括至少一个MEMS致动器的至少一个运动特征值。

发明内容

本发明从一种监测设备、尤其用于激光投影设备的监测设备出发，所述监测设备用于借助至少一个检测单元对至少一个MEMS致动器进行运动监测，所述至少一个检测单元设置用于检测所述MEMS致动器的至少一个运动信号，所述至少一个运动信号包括所述至少一个MEMS致动器的至少一个运动特征值。

提出：监测设备包括至少一个第一比较器单元，所述至少一个第一比较器单元设置用于将所述至少一个MEMS致动器的所述至少一个运动特征值与至少一个参考值进行比较。

优选地，监测设备设置用于应用在激光投影设备中。替代地或附加地，可以考虑监测设备的另外的应用领域。监测设备尤其可以应用在测量技术上的微镜应用和/或微镜设备——例如LIDAR(光探测和测距)、3D扫描、粒子传感器、激光扫描摄像机或对于本领域技术人员而言显得有意义的其他微镜应用和/或微镜设备中。

“MEMS致动器”尤其应理解为可运动的微机电系统(MEMS)。MEMS致动器尤其可以利用电能进行机械运动。优选地，MEMS致动器可以至少线性地并且至少振荡地、尤其正弦形地运动。可以考虑MEMS致动器的运动的其他形式、尤其MEMS致动器的运动的对于本领域技术人员而言显得有意义的形式。MEMS致动器尤其可以构造为微镜、陀螺仪或对于本领域技术人员而言显得有意义的另外的MEMS致动器。

优选地，检测单元具有至少一个压电测量桥和至少一个模拟/数字转换器。优选地，压电测量桥至少部分地由压阻材料构成。压电测量桥尤其至少部分地由硅、锗或对于本领域技术人员而言显得有意义的其他压阻材料构成。“材料是压阻的”尤其应理解如下：材料的由于对材料的力作用而引起的变形导致材料的电阻变化。优选借助压电测量桥的电桥电路、特别优选借助压电测量桥的惠斯通测量桥探测材料的电阻变化。优选地，由于压阻材料的电阻变化，压电测量桥的电桥电路提供电压信号。

“模拟/数字转换器”尤其应理解为设置用于将模拟输入信号转换成数字数据信号的电子元件。模拟/数字转换器尤其设置用于将压电测量桥的模拟电压信号转换成数字数据信号。数字数据信号尤其具有MEMS致动器的运动特征值。优选地，运动特征值是电压信号的独特的、尤其恒定的参量，例如幅度。“设置”尤其应理解为专门地编程、设计和/或配备。“对象设置用于确定的功能”尤其应理解如下：该对象在至少一个应用状态和/或运行状态中满足和/或实施这些确定的功能。