[发明专利]监测设备

权利要求书

1.一种监测设备，所述监测设备用于借助至少一个检测单元(12)对至少一个MEMS致动器(22，26)进行运动监测，所述至少一个检测单元设置用于检测所述MEMS致动器(22，26)的至少一个运动信号，所述至少一个运动信号包括所述至少一个MEMS致动器(22，26)的至少一个运动特征值，其特征在于至少一个第一比较器单元(16)，所述至少一个第一比较器单元设置用于将所述至少一个MEMS致动器(22，26)的所述至少一个运动特征值与至少一个参考值进行比较。

2.根据权利要求1所述的监测设备，其特征在于数字信号处理器(14)，所述数字信号处理器在所述至少一个MEMS致动器(22，26)的正弦形的运动的情况下设置用于，借助算法、尤其CORDIC算法由所述至少一个MEMS致动器(22，26)的所述至少一个运动信号求取所述至少一个MEMS致动器(22，26)的运动的幅度和相位误差。

3.根据权利要求2所述的监测设备，其特征在于，在所述至少一个MEMS致动器(22，26)的正弦形的运动的情况下，所述至少一个第一比较器单元(16)设置用于，将所述至少一个MEMS致动器(22，26)的运动的所求取的幅度与幅度参考值进行比较。

4.根据以上权利要求中任一项所述的监测设备，其特征在于至少一个第二比较器单元(18)，所述至少一个第二比较器单元在所述至少一个MEMS致动器(22，26)的正弦形的运动的情况下设置用于，将所述至少一个MEMS致动器(22，26)的运动的所检测到的相位误差与相位误差参考值进行比较。

5.根据以上权利要求中任一项所述的监测设备，其特征在于至少一个模拟/数字转换器单元(20)，所述至少一个模拟/数字转换器单元设置用于，在所述至少一个MEMS致动器(22，26)的非正弦形、尤其分段线性的运动的情况下将所述至少一个检测单元(12)的至少一个信号数字化并且检测和存储所述检测单元(12)的信号的至少一个第一瞬时值和所述至少一个检测单元(12)的信号的至少一个第二瞬时值，所述至少一个第二瞬时值与所述至少一个检测单元(12)的信号的至少一个第一瞬时值在时间上错开。

6.根据权利要求5所述的监测设备，其特征在于，在所述至少一个MEMS致动器(22，26)的非正弦形、尤其分段线性的运动的情况下，所述至少一个第一比较器单元(16)设置用于，将所述至少一个模拟/数字转换器单元(20)的至少一个第二瞬时值与所述至少一个模拟/数字转换器单元(20)的至少一个第一瞬时值进行比较。

7.根据以上权利要求中任一项所述的监测设备，其特征在于，在所述至少一个MEMS致动器(22，26)的非正弦形、尤其分段线性的运动的情况下，所述至少一个第一比较器单元(16)设置用于检查，在所述至少一个模拟/数字转换器单元(20)的至少一个第一瞬时值与所述至少一个模拟/数字转换器单元(20)的至少一个第二瞬时值之间是否存在确定的最小区别。

8.一种用于借助根据以上权利要求所述的监测设备(10，40)对至少一个MEMS致动器(22，26)进行运动监测的方法，其中，所述监测设备(10，40)包括至少一个检测单元(12)，所述至少一个检测单元设置用于检测所述MEMS致动器(22，26)的至少一个运动信号，所述至少一个运动信号包括所述至少一个MEMS致动器(22，26)的至少一个运动特征值，其特征在于，将所述至少一个MEMS致动器(22，26)的至少一个运动特征值与至少一个参考值进行比较。

9.一种激光投影设备，其具有至少一个MEMS致动器(22，26)和至少一个根据权利要求1至7中任一项所述的监测设备(10，40)，其中，所述监测设备(10，40)包括至少一个检测单元(12)，所述至少一个检测单元设置用于检测所述MEMS致动器(22，26)的至少一个运动信号，所述至少一个运动信号包括所述至少一个MEMS致动器(22，26)的至少一个运动特征值，其特征在于，所述至少一个MEMS致动器(22，26)至少部分地构造为镜元件。

10.一种激光投影仪，其具有根据权利要求9所述的至少一个激光投影设备(24)。