[发明专利]研磨装置及研磨方法在审
| 申请号: | 201811379341.9 | 申请日: | 2018-11-19 |
| 公开(公告)号: | CN109333337A | 公开(公告)日: | 2019-02-15 |
| 发明(设计)人: | 高鹏;王军 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号: | B24B37/10 | 分类号: | B24B37/10;B24B37/04;B24B37/34;B24B37/005;B24B55/06 |
| 代理公司: | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人: | 林才桂 |
| 地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 研磨单元 研磨 取片 承载平台 清洗单元 研磨装置 运动轴 搬运 玻璃碎渣 间隔设置 区域运动 破片 去除 清洗 | ||
1.一种研磨装置,其特征在于,包括:具有间隔设置的放片区域(11)与取片区域(12)的运动轴(10)、设于所述运动轴(10)侧边并位于放片区域(11)与取片区域(12)之间的研磨单元(20)、设于所述运动轴(10)上的承载平台(30)、设于所述研磨单元(20)上的清洗单元(40)以及与所述清洗单元(40)连接的控制单元(50);
所述承载平台(30)用于在放片区域(11)、研磨单元(20)及取片区域(12)之间往复运动,并将待研磨的面板(60)从放片区域(11)搬运至研磨单元(20),将研磨后的面板(60)从研磨单元(20)搬运至取片区域(12);
所述研磨单元(20)用于对待研磨的面板(60)进行研磨;
所述控制单元(50)用于控制清洗单元(40)在承载平台(30)从取片区域(12)运动至研磨单元(20)时对承载平台(30)进行清洗。
2.如权利要求1所述的研磨装置,其特征在于,还包括设于所述运动轴(10)的放片区域(11)上方的放片单元(70);所述放片单元(70)用于在承载平台(30)位于放片区域(11)时将待研磨的面板(60)放置在承载平台(30)上。
3.如权利要求1所述的研磨装置,其特征在于,还包括设于所述运动轴(10)的取片区域(12)上方的取片单元(80);所述取片单元(80)用于在承载平台(30)位于取片区域(12)时取走研磨后的面板(60)。
4.如权利要求1所述的研磨装置,其特征在于,所述控制单元(50)为PLC系统。
5.如权利要求1所述的研磨装置,其特征在于,所述清洗单元(40)包括间隔设置的风刀及水刀。
6.一种研磨方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤S1、提供研磨装置;所述研磨装置包括:具有间隔设置的放片区域(11)与取片区域(12)的运动轴(10)、设于所述运动轴(10)侧边并位于放片区域(11)与取片区域(12)之间的研磨单元(20)、设于所述运动轴(10)上的承载平台(30)、设于所述研磨单元(20)上的清洗单元(40)以及与所述清洗单元(40)连接的控制单元(50);
步骤S2、所述承载平台(30)移动至放片区域(11),将待研磨的面板(60)放置于承载平台(30)上;
步骤S3、所述承载平台(30)移动至研磨单元(20),该研磨单元(20)对待研磨的面板(60)进行研磨;
步骤S4、所述承载平台(30)移动至取片区域(12),将研磨后的面板(60)取走;
步骤S5、所述承载平台(30)移动至研磨单元(20),所述控制单元(50)控制清洗单元(40)对承载平台(30)进行清洗;
步骤S6、重复步骤S2-步骤S5,直至所有待研磨的面板(60)完成研磨。
7.如权利要求6所述的研磨方法,其特征在于,所述研磨装置还包括设于所述运动轴(10)的放片区域(11)上方的放片单元(70);所述步骤S2中,所述放片单元(70)将待研磨的面板(60)放置在承载平台(30)上。
8.如权利要求6所述的研磨方法,其特征在于,所述研磨装置还包括设于所述运动轴(10)的取片区域(12)上方的取片单元(80);所述步骤S4中,所述取片单元(80)将研磨后的面板(60)取走。
9.如权利要求6所述的研磨方法,其特征在于,所述控制单元(50)为PLC系统。
10.如权利要求6所述的研磨方法,其特征在于,所述清洗单元(40)包括间隔设置的风刀及水刀。
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