[发明专利]多路测量式速度测量传感器

说明书

本发明涉及多路测量式速度测量传感器，包括激光束一，入射至三角反射镜的所述第一反射面，经第一反射面反射后入射至所述第二反射面；分光镜一，将激光束一分为激光束二与激光束三；所述棱镜一，用于使入射的激光束二发生折射，并透射出去；折射镜一，用于接收从所述棱镜中透射出的激光束二，并使激光束二发生折射；光电探测器一，用于接收经折射镜一折射后的激光束二，并测量其入射位置；光电探测器二，用于接收经折射镜二折射后的激光束三，并测量其入射位置。本发明通过折射镜的设置，降低光束入射至光电探测器的角度，提高了光电探测器测量稳定性，而且根据三角关系，传感器的测量精度得到进一步提高。

技术领域

本发明涉及测量技术领域，具体涉及多路测量式速度测量传感器。

背景技术

近年来，随着半导体激光器与光电探测器的出现，使得激光三角法测量成为可能并且得以广泛应用。激光三角法测量是凭借三角波光学器件和高精度PSD(PositionSensitive Device，位置灵敏(敏感)探测器)，在物体进行了小幅运行时，通过光学三角进行放大，水平运行在光电探测器(PSD)上放大距离，从而在小范围内实现高精度的运动或速度测量。而现有技术中的测速传感器，例如，申请号为201810709991.9，发明名称为《基于多普勒效应带修正结构的测速传感器及标定与测量方法》中提供的测速传感器，测量原理与结构如图4所示，其测速传感器的测量精度与PSD入射角有关，测量精度容易受到影响，即为当入射于PSD的激光束的入射角增大时，PSD本身的测量精度会下降。

发明内容

本发明的目的在于提出一种多路测量式速度测量传感器。

为了实现上述目的，本发明提供以下技术方案：

一种多路测量式速度测量传感器，包括：

可随被测物体同步移动的三角反射镜，包括第一反射面和第二反射面；

激光束一，入射至三角反射镜的所述第一反射面，经第一反射面反射后入射至所述第二反射面；

分光镜一，用于接收第二反射面反射的激光束一，并将激光束一分为激光束二与激光束三；

所述激光束二，入射至棱镜一；

所述棱镜一，用于使入射的激光束二发生折射，并透射出去；

折射镜一，用于接收从所述棱镜中透射出的激光束二，并使激光束二发生折射；

光电探测器一，用于接收经折射镜一折射后的激光束二，并测量其入射位置；

折射镜二，用于接收从所述分光镜一中透射出的激光束三，并使得激光束三发生折射；

光电探测器二，用于接收经折射镜二折射后的激光束三，并测量其入射位置；

处理系统，用于根据光电探测器一接收到的激光束二的入射位置变化量、光电探测器二接收到的激光束三的入射位置变化量，计算出被测物体的速度。

在进一步的方案中，还包括激光器、分光镜二、棱镜二、折射镜三、光电探测器三；

所述激光器，用于射出激光束；

所述分光镜二，用于接收激光束，并将激光束分为激光束四与所述激光束一；

所述激光束四，入射至棱镜二；

所述棱镜二，用于使入射的激光束四发生折射，并透射出去；

折射镜三，用于接收从所述棱镜二中透射出的激光束四，并使激光束四发生折射；

光电探测器三，用于接收经折射镜三折射后的激光束四，并测量其入射位置。

在进一步的方案中，包括激光器，所述激光器用于射出所述激光束一。