[发明专利]一种多电极同步激光与电解复合加工装置

权利要求书

1.一种多电极同步激光与电解复合加工装置，包括激光束(10)和管电极，其特征在于：所述管电极的数量为多个，并排间隔布置在分液腔的电解液(13)中；通过至少一个比例分光镜和反射镜(5)，将射入的激光束(10)均匀分成多束；分光后的激光束(10)经过聚集位置调节装置，在对应的管电极上端口对中射入，并作用于管电极下端的加工区域；

所述的分液腔具有输入电解液(13)的入口(2)；分液腔中的电解液(13)分别进入各个离散分布的管电极中，通过管电极的内部通孔以一定压力流向端面加工区域，从管电极下端侧面加工间隙中流出；

所述的聚集位置调节装置包括聚焦透镜(11)、以及能上下移动以调节对焦距离的透镜安装支架(3)；分光后的激光束(10)经过聚焦透镜(11)聚焦于管电极的上端部入口中心位置，激光束(10)通过内全反射传输至管电极的下端部，通过端面加工间隙作用于加工区域；

通过CCD视觉系统(8)对激光焦点与管电极相对位置在线监测，通过控制透镜安装支架(3)的上下位置调节激光焦点与管电极的相对垂直位置，通过调节比例分光镜和反射镜(5)的水平位置，调节激光焦点与管电极的相对水平位置，实现激光焦点与管电极相对位置的精密调节。

2.根据权利要求1所述的多电极同步激光与电解复合加工装置，其特征在于：所述的管电极是由金属层(15)、外部绝缘层(14)及内部含氟聚合物层(16)构成的筒形体；所述含氟聚合物层(16)的光学折射率小于电解液(13)的折射率，所述筒形体的内部通孔构成激光全反射通道。

3.根据权利要求2所述的多电极同步激光与电解复合加工装置，其特征在于：所述加工区域的工件(17)安装于三维运动平台(18)上；通过控制三维运动平台(18)的运动，实现工件(17)相对于管电极的精密运动；所述的工件(17)为金属导电材料，所述管电极的金属层(15)和工件(17)分别与高频脉冲电源(1)的负极和正极连接。

4.根据权利要求2所述的多电极同步激光与电解复合加工装置，其特征在于：所述的金属层(15)为黄铜、钛或不锈钢；所述的绝缘层(14)为陶瓷或聚合物。

5.根据权利要求1所述的多电极同步激光与电解复合加工装置，其特征在于：所述管电极的数量为两个，射入的激光束(10)通过一个比例分光镜和一个反射镜(5)，所述的比例分光镜是透光率与反射率比例为50/50的第一比例分光镜(7)，射入的激光束(10)被分为两束独立能量近似一致的激光束(10)，分别射入对应的管电极。

6.根据权利要求1所述的多电极同步激光与电解复合加工装置，其特征在于：所述管电极的数量为三个；射入的激光束(10)依次通过两个比例分光镜和一个反射镜(5)；两个比例分光镜分别为透光率与反射率比例为30/70的第二比例分光镜(23)、透光率与反射率比例为50/50的第三比例分光镜(24)；射入的激光束(10)被分为三束独立能量近似一致的激光束(10)，分别射入对应的管电极。

7.根据权利要求1所述的多电极同步激光与电解复合加工装置，其特征在于：所述管电极的数量为五个；射入的激光束(10)依次通过四个比例分光镜和一个反射镜(5)；四个比例分光镜分别为透光率与反射率比例为20/80的第四比例分光镜(25)、透光率与反射率比例为25/75的第五比例分光镜(26)、透光率与反射率比例为30/70的第六比例分光镜(27)、透光率与反射率比例为50/50的第七比例分光镜(28)；射入的激光束(10)被分为五束独立能量近似一致的激光束(10)，分别射入对应的管电极。