[发明专利]一种二维紫外光子计数成像探测器

权利要求书

1.一种二维紫外光子计数探测器，其特征在于，所述探测器包括：

输入窗，所述输入窗的窗口内表面上镀有氮化镓光电阴极，所述氮化镓光电阴极用于将紫外光子转换成光电子；

微通道板堆，用于对所述光电子实现电子倍增；

输出窗，位于所述输出窗上的电阻层和楔条形位置灵敏阳极，所述经过电子倍增后的光电子入射到所述电阻层上，并在所述楔条形位置灵敏阳极上产生电荷脉冲；

真空壳体，所述真空壳体、输入窗和输出窗构成真空密封管体；

位置读出电路，用于采集、传输及处理所述电荷脉冲。

2.根据权利要求1所述的一种二维紫外光子计数探测器，其特征在于，所述多倍的电子倍增为10⁷至10⁸的电子倍增。

3.根据权利要求1所述的一种二维紫外光子计数探测器，其特征在于，所述输入窗采用石英、氟化镁或氟化钙材料制成。

4.根据权利要求1所述的一种二维紫外光子计数探测器，其特征在于，所述输出窗采用绝缘材料制成。

5.根据权利要求4所述的一种二维紫外光子计数探测器，其特征在于，所述绝缘材料的相对介电常数范围为2至5。

6.根据权利要求4所述的一种二维紫外光子计数探测器，其特征在于，所述输出窗的厚度范围为1毫米至2毫米。

7.根据权利要求1所述的一种二维紫外光子计数探测器，其特征在于，所述电阻层的方块电阻为

8.根据权利要求1所述的一种二维紫外光子计数探测器，其特征在于，所述位置读出电路包括射频连接器，射频放大器、数模转换电路、微处理器及传输接口电路。

9.根据权利要求1所述的一种二维紫外光子计数探测器，其特征在于，所述探测器还包括真空壳体，所述输入窗、输出窗和真空壳体封装成一体真空气密结构。

10.根据权利要求1所述的一种二维紫外光子计数探测器，其特征在于，所述微通道板堆与所述氮化镓光电阴极之间的间隙范围为0.1毫米至0.3毫米，所述微通道板堆与所述电阻层之间的间隙范围为1毫米至3毫米。