[发明专利]高精度大行程空间平动微定位平台

权利要求书

1.一种高精度大行程空间平动微定位平台，其包括基座、动平台和三个柔性支链，三个所述柔性支链呈正交布置，所述柔性支链的两端分别固接在所述基座和所述动平台上，其特征在于：所述基座上还安装有分别用于驱动所述柔性支链的音圈电机驱动器，所述柔性支链包括主动副、第一被动副和第二被动副；所述主动副、第一被动副和第二被动副均由对称设置的复合型柔性移动副组成，所述复合型柔性移动副包括两组柔性簧片且同组的两个所述柔性簧片互相平行，第一组的两个所述柔性簧片的一端通过刚性连接件一连接，第二组的两个所述柔性簧片的一端通过刚性连接件二连接，两组所述柔性簧片的另一端同向设置并通过刚性连接件三连接；所述主动副的所述刚性连接件一固接在所述基座上，所述主动副的所述刚性连接件二和所述音圈电机驱动器分别连接在所述第一被动副的所述刚性连接件一上，所述第一被动副的所述刚性连接件二连接在所述第二被动副的所述刚性连接件一上，所述第二被动副的所述刚性连接件二与所述动平台固接；所述主动副、所述第一被动副和所述第二被动副中的所述柔性簧片的变形方向正交；

所述刚性连接件一为U形连接件，所述刚性连接件二为厚板连接件，所述刚性连接件三为薄板连接件，所述U形连接件的两端分别设有向内延伸的凸缘，第一组的两个所述柔性簧片的一端分别与两个所述凸缘连接，第二组所述柔性簧片平行插入第一组的两个所述柔性簧片之间且其靠近所述凸缘的一端通过所述厚板连接件连接，所述厚板连接件伸出所述U形连接件，两组所述柔性簧片的另一端通过所述薄板连接件连接，所述薄板连接件与所述U形连接件的内侧底面之间留有间隙；

所述主动副包括四个所述复合型柔性移动副，所述第一被动副和所述第二被动副均包括两个所述复合型柔性移动副；所述第二被动副中的两个所述复合型柔性移动副相对设置，且两个所述复合型柔性移动副中的所述刚性连接件一和所述刚性连接件二一一对应连接；所述第一被动副中的两个所述复合型柔性移动副对称设置在所述第二被动副的左右两侧中部位置；所述主动副中的四个所述复合型柔性移动副分别设置在所述第一被动副中的两个所述复合型柔性移动副的上下两侧，且四个所述复合型柔性移动副呈矩形分布；

三个所述柔性支链在空间上互为转动90°。

2.根据权利要求1所述的一种高精度大行程空间平动微定位平台，其特征在于：所述主动副、所述第一被动副和所述第二被动副为一体加工成型。

3.根据权利要求1所述的一种高精度大行程空间平动微定位平台，其特征在于：所述音圈电机驱动器通过安装支架安装在所述基座上，所述安装支架和所述音圈电机驱动器均位于所述基座的外侧，所述安装支架固接在所述基座上，所述音圈电机驱动器的固定端固接在所述安装支架上，所述音圈电机驱动器的驱动端垂直穿过所述基座后连接有驱动连杆，所述驱动连杆的两端分别固接在所述第一被动副的左右两端。