[发明专利]二维Ga1-x有效

专利信息
申请号: 201811292091.5 申请日: 2018-10-31
公开(公告)号: CN109285900B 公开(公告)日: 2020-06-05
发明(设计)人: 冯伟;于苗苗;秦芳璐;刘赫 申请(专利权)人: 东北林业大学
主分类号: H01L31/0328 分类号: H01L31/0328;C01B19/00
代理公司: 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211 代理人: 田鸿儒
地址: 150040 黑龙*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要:
搜索关键词: 二维 ga1 base sub
【权利要求书】:

1.一种二维Ga1-xInxSe合金的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:

步骤一、将硒粉和铟镓共熔合金放入石英舟中,然后将石英舟放入管式炉并将管式炉抽真空,并通入保护气体,一次升温后进行一次保温一段时间,然后二次升温,再二次保温一段时间,降温至室温,制得块体Ga1-xInxSe合金材料;

步骤二、将SiO2/Si基底进行预处理;步骤三、用透明胶带反复粘贴块体Ga1-xInxSe合金材料,然后将透明胶带粘贴在经步骤一处理后的SiO2/Si基底上,撕去透明胶带后,将SiO2/Si基底浸泡在丙酮中,取出SiO2/Si基底即可在其表面获得随机分布的二维Ga1-xInxSe合金;

步骤一中所述一次升温及二次升温的升温速度均为20-40℃/min;步骤一中所述一次升温,升温至300℃;所述一次保温,保温时间为60-120min;步骤一中所述二次升温,升温至960℃;所述二次保温,保持时间为120-180min;步骤一中所述降温,降温速度为50-100℃/min。

2.根据权利要求1所述的二维Ga1-xInxSe合金的制备方法,其特征在于:所述铟镓共熔合金中,镓质量为镓、铟质量之和的75.5%,铟质量为镓、铟质量之和的24.5%。

3.根据权利要求1所述的二维Ga1-xInxSe合金的制备方法,其特征在于:步骤一中硒的物质的量和铟、镓的物质的量之和的比为(1.1-1.2):1。

4.根据权利要求1所述的二维Ga1-xInxSe合金的制备方法,其特征在于:所述保护气体为氩气,步骤一中Ar的流量为20-100sccm;步骤一中抽真空真空度为50-100Torr。

5.根据权利要求1所述的二维Ga1-xInxSe合金的制备方法,其特征在于:步骤二中,所述SiO2/Si基底厚度为300nm;所述SiO2/Si基底预处理方法具体为:将SiO2/Si基底浸泡在浓硫酸/双氧水混合溶液中,然后取出,依次浸入异丙醇、丙酮、乙醇和超纯水中超声处理,用氮气吹干,待用;所述浸泡,温度为83℃,浸泡时间为20-40min;所述浓硫酸/双氧水混合溶液,其中浓硫酸为质量分数97%以上的硫酸水溶液,双氧水为质量分数35%的过氧化氢水溶液,所述混合溶液中,浓硫酸与双氧水的体积比为3:1。

6.根据权利要求1所述的二维Ga1-xInxSe合金的制备方法,其特征在于:步骤三中,所述反复粘贴块体Ga1-xInxSe合金材料,指将透明胶带粘贴在块体Ga1-xInxSe合金材料表面,然后将透明胶带取下,重复上述操作4-9次,每次粘贴操作使用透明胶带的位置相同;所述将透明胶带粘贴在经步骤一处理后的SiO2/Si基底上,粘贴时间为5~12小时;所述将SiO2/Si基底浸泡在丙酮中,浸泡时间为2~4小时。

7.一种利用权利要求1-6任一项所述二维Ga1-xInxSe合金的制备方法制备的二维Ga1-xInxSe合金。

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