[发明专利]风刀及采用该风刀的干燥装置

说明书

本发明提供一种风刀及采用该风刀的干燥装置。其优点在于，在主风刀侧壁设置导流板，所述导流板对干燥气体起到阻挡作用，延长干燥气体的水平行程，从而延长干燥气体的风力作用时间，提高干燥效果，且所述导流板能够对所述待干燥基板表面的受高压而飞溅的水渍起到阻挡作用，避免造成二次污染，影响干燥效果。

技术领域

本发明涉及显示装置领域，尤其涉及一种风刀及采用该风刀的干燥装置。

背景技术

在显示装置的各个部件的制作工艺中，常常需要用到湿式设备(Wet)。例如，清洗机(Cleaner)，用于玻璃基板表面涂布前的清洗，去除颗粒(Particle)和有机物等脏污；显影机(Develop)，用于玻璃基板涂布曝光后光阻的剥离，以形成所需的图案(pattern)。

湿式设备一般主要由传送滚轮(roller)、喷淋冲洗、刷洗(brush)、风刀干燥等组成，其中具有干燥功能的风刀(Air Knife)是湿式设备重要的品质保障部分。待清洗基板，例如玻璃基板，在传送滚轮上传送经喷淋机构喷洒水或药液、洗剂将基板表面的颗粒、有机物脏污、光阻等冲洗脱离后，利用风刀狭缝喷出一定压力流量的气体，对清洗后的基板表面残留的水起到快速吹除干燥。

图1是现有的风刀进行干燥作业时的侧视示意图。请参阅图1，风刀干燥装置包括分别设置在待干燥基板10两侧的上风刀11及下风刀12，一待干燥基板10在传送滚轮13的传送下从所述上风刀11及所述下风刀12之间通过，一定压力流量的干燥风从所述上风刀11及所述下风刀12的喷嘴狭缝处喷出，快速吹除并干燥待干燥基板10表面残留的水14。

随着显示面板工艺的提升，制程能力越来越精细，产品良率的要求越来越高，细微的水渍残留都将影响产品良率。现有的风刀干燥装置利用快速高压狭缝气流一次性吹除水渍，有如下缺点：(1)风力作用时间短，不能良好保证一次性干燥效果，易偶发干燥不良，现多采用后续加热方式二次干燥，设备成本高；(2)待干燥基板表面水渍突然受高压易飞溅，易造成风刀装置上水滴聚集滴落，造成二次污染，影响干燥效果。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是，提供一种风刀及采用该风刀的干燥装置，其能够提高干燥效果。

为了解决上述问题，本发明提供了一种风刀，包括一主风刀，所述主风刀用于向一待干燥基板输送一干燥气体，在所述主风刀背离所述待干燥基板运动方向的侧面设置有一导流板，所述导流板沿所述干燥气体的流向延伸，且所述导流板与所述待干燥基板所在的平面具有一夹角，所述夹角小于90度。

在一实施例中，所述导流板上设置有多个贯穿所述导流板的过孔，在沿所述导流板的宽度方向上，多个所述过孔依序排列形成一排。

在一实施例中，所述导流板上设置有多个贯穿所述导流板的过孔，在沿所述干燥气体的流向方向，所述过孔的孔径逐渐增大。

在一实施例中，在所述过孔的一端设置有一盖子，所述盖子能够遮挡所述过孔。

在一实施例中，所述风刀还包括至少一辅助气管，所述辅助气管的一端连接至所述主风刀的一分支开口，所述辅助气管的另一端连接至所述过孔背离所述待干燥基板的一侧，所述主风刀经所述分支开口向所述辅助气管提供干燥气体，所述干燥气体经所述过孔吹向所述待干燥基板。

在一实施例中，所述辅助气管包括一接头、一管体及一喷嘴，所述接头设置在所述管体的一端，并与所述主风刀连接，所述喷嘴设置在所述管体的另一端，并与所述过孔连接。

在一实施例中，所述喷嘴包括一磁性套筒及一锥形嘴，所述磁性套筒套设在所述锥形嘴上，且所述磁性套筒吸附在所述导流板表面，以将所述喷嘴固定，所述锥形嘴插入所述过孔中。

在一实施例中，所述导流板还包括一朝向所述主风刀的侧壁的连接部，所述连接部具有至少一个滑槽，一锁紧旋钮穿过所述滑槽与所述主风刀的侧壁连接，所述滑槽的长度大于所述锁紧旋钮的螺杆的直径。