[发明专利]风刀及采用该风刀的干燥装置有效

专利信息
申请号: 201811286379.1 申请日: 2018-10-31
公开(公告)号: CN109373743B 公开(公告)日: 2020-08-11
发明(设计)人: 施杰 申请(专利权)人: 武汉华星光电技术有限公司
主分类号: F26B21/00 分类号: F26B21/00
代理公司: 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 代理人: 黄威
地址: 430079 湖北省武汉市*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 采用 干燥 装置
【权利要求书】:

1.一种风刀,其特征在于,包括一主风刀,所述主风刀用于向一待干燥基板输送一干燥气体,在所述主风刀背离所述待干燥基板运动方向的侧面设置有一导流板,所述导流板沿所述干燥气体的流向延伸,且所述导流板与所述待干燥基板所在的平面具有一夹角,所述夹角小于90度,其中,

所述导流板上设置有多个贯穿所述导流板的过孔,在沿所述导流板的宽度方向上,多个所述过孔依序排列形成一排,并且,在沿所述干燥气体的流向方向,所述过孔的孔径逐渐增大。

2.根据权利要求1所述的风刀,其特征在于,在所述过孔的一端设置有一盖子,所述盖子能够遮挡所述过孔。

3.根据权利要求1所述的风刀,其特征在于,所述风刀还包括至少一辅助气管,所述辅助气管的一端连接至所述主风刀的一分支开口,所述辅助气管的另一端连接至所述过孔背离所述待干燥基板的一侧,所述主风刀经所述分支开口向所述辅助气管提供干燥气体,所述干燥气体经所述过孔吹向所述待干燥基板。

4.根据权利要求3所述的风刀,其特征在于,所述辅助气管包括一接头、一管体及一喷嘴,所述接头设置在所述管体的一端,并与所述主风刀连接,所述喷嘴设置在所述管体的另一端,并与所述过孔连接。

5.根据权利要求4所述的风刀,其特征在于,所述喷嘴包括一磁性套筒及一锥形嘴,所述磁性套筒套设在所述锥形嘴上,且所述磁性套筒吸附在所述导流板表面,以将所述喷嘴固定,所述锥形嘴插入所述过孔中。

6.根据权利要求1所述的风刀,其特征在于,所述导流板还包括一朝向所述主风刀的侧壁的连接部,所述连接部具有至少一个滑槽,一锁紧旋钮穿过所述滑槽与所述主风刀的侧壁连接,所述滑槽的长度大于所述锁紧旋钮的螺杆的直径。

7.一种干燥装置,包括一上风刀及一下风刀,所述上风刀的出风口与所述下风刀的出风口相对设置,所述上风刀的出风口与所述下风刀的出风口之间具有一间隙,所述间隙允许一待干燥基板穿过,其特征在于,所述上风刀的结构与如权利要求1所述的风刀的结构相同。

8.根据权利要求7所述的干燥装置,其特征在于,所述下风刀的结构与如权利要求1所述的风刀的结构相同,所述上风刀的出风方向与所述待干燥基板所在的平面呈一锐角,所述下风刀的出风方向与所述待干燥基板所在的平面呈一锐角。

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