[发明专利]用于制造激光二极管条的方法和激光二极管条有效
| 申请号: | 201811183129.5 | 申请日: | 2018-10-11 |
| 公开(公告)号: | CN109659813B | 公开(公告)日: | 2023-09-12 |
| 发明(设计)人: | 斯文·格哈德;安德烈亚斯·莱夫勒 | 申请(专利权)人: | 欧司朗光电半导体有限公司 |
| 主分类号: | H01S5/40 | 分类号: | H01S5/40;H01S5/32 |
| 代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 丁永凡;张春水 |
| 地址: | 德国雷*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 制造 激光二极管 方法 | ||
1.一种用于制造激光二极管条(10)的方法,所述方法包括如下步骤:
-制造多个彼此并排设置的发射体(1,2),其中所述发射体(1,2)分别具有半导体层序列(9)、p型接触部(6)和n型接触部(7),所述半导体层序列具有适合于产生激光辐射的有源层(4),
-检查所述发射体(1,2)的至少一个光学和/或电学特性,其中将光学和/或电学特性处于预设的理论值范围之内的发射体(1)与第一发射体(1)的组相关联,并且将光学和/或电学特性处于预设的理论值范围之外的发射体(2)与第二发射体(2)的组相关联,
-将电绝缘层(8)至少施加到所述第二发射体(2)的所述p型接触部(6)上,
-通过将p型联接层(14)施加到所述第一发射体(1)的所述p型接触部(6)上来电接触所述第一发射体(1)的所述p型接触部(6),其中通过所述电绝缘层(8)将所述第二发射体(2)的所述p型接触部与所述p型联接层(14)电绝缘。
2.根据权利要求1所述的方法,其中所述p型联接层(14)是焊料层,并且其中所述激光二极管条(10)在第一主面(11)上借助于所述焊料层与载体(13)连接,将所述发射体(1,2)的所述p型接触部(6)设置在所述第一主面上。
3.根据权利要求1或2所述的方法,其中所述电绝缘层(8)包括漆或墨并且选择性地施加到所述第二发射体(2)的所述p型接触部(6)上。
4.根据权利要求1或2所述的方法,其中所述电绝缘层(8)包括光刻胶层,所述光刻胶层施加到所述第一发射体(1)的和所述第二发射体(2)的所述p型接触部(6)上,其中所述光刻胶层在所述第一发射体(1)的所述p型接触部(6)上曝光并且随后被再次移除,并且其中所述光刻胶层在所述第二发射体(2)的所述p型接触部(6)上未曝光并且不被再次移除。
5.根据权利要求1或2所述的方法,其中所述电绝缘层(8)包括氧化物层,所述氧化物层施加到所述第一发射体(1)的和所述第二发射体(2)的所述p型接触部(6)上,并且其中所述氧化物层从所述第一发射体(1)的所述p型接触部(6)再次移除。
6.根据权利要求5所述的方法,其中所述第一发射体(1)和所述第二发射体(2)的所述p型接触部(6)具有金,并且在施加所述电绝缘层(8)之前用氧等离子处理,以便在所述p型接触部(6)的表面上产生氧化金层(17),并且其中氧化金层(17)在施加所述电绝缘层(8)之后通过在所述第一发射体(1)运行时形成的热量而被至少部分地分解,使得所述电绝缘层(8)在所述第一发射体(1)的所述p型接触部(6)上与在所述第二发射体(2)的所述p型接触部(6)上相比更差地附着,并且其中所述电绝缘层(8)至少部分地从所述第一发射体(1)的所述p型接触部(6)剥离。
7.根据权利要求1或2所述的方法,其中所述半导体层序列(9)具有氮化物半导体材料。
8.一种激光二极管条,其包括多个彼此并排设置的发射体(1,2),其中所述发射体(1,2)分别具有半导体层序列(9)、p型接触部(6)和n型接触部(7),所述半导体层序列具有适合于产生激光辐射的有源层(4),其中
-所述发射体(1,2)包括被电接触的第一发射体(1)的组和不被电接触的第二发射体(2)的组,
-所述第一发射体(1)的所述p型接触部(6)借助于p型联接层(14)被电接触,和
-所述第二发射体(2)的所述p型接触部(6)通过电绝缘层(8)与所述p型联接层(14)分开并且不被电接触。
9.根据权利要求8所述的激光二极管条,其中所述p型联接层(14)是焊料层,并且其中所述激光二极管条(10)在第一主面(11)上借助于所述焊料层与载体(13)连接,其中将所述发射体(1,2)的所述p型接触部(6)设置在所述第一主面上。
10.根据权利要求8或9所述的激光二极管条,其中所述电绝缘层(8)包括漆或墨。
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