[发明专利]外延灯管辅助检测装置及其检测方法在审
| 申请号: | 201811169153.3 | 申请日: | 2018-10-08 |
| 公开(公告)号: | CN109387794A | 公开(公告)日: | 2019-02-26 |
| 发明(设计)人: | 张逸杰;王婷 | 申请(专利权)人: | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号: | G01R31/44 | 分类号: | G01R31/44 |
| 代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 刘翔 |
| 地址: | 201306 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 灯管 测温单元 检测 辅助检测装置 检测结果 机台 数字化操作 独立控制 发送 | ||
1.一种外延灯管辅助检测装置,用于对设置于一外延机台内的若干灯管执行检测,其特征在于,包括:
控制单元,包括主控制单元,所述主控制单元设置于所述外延机台外侧,
所述控制单元电性连接所述灯管,并独立控制每个所述灯管的开启和关闭;
多个测温单元,每个所述测温单元设置于每个所述灯管,所述测温单元检测其对应的所述灯管在一设定时间内的温度并将检测结果发送至所述控制单元;
其中,所述控制单元根据所述检测结果得到所述灯管的升温速率,以判断出所述灯管是否需要更换。
2.如权利要求1所述的外延灯管辅助检测装置,其特征在于,所述升温速率在一设定范围内,则所述灯管不需要更换,反之,所述升温速率超出所述设定范围,则所述灯管需要更换。
3.如权利要求1所述的外延灯管辅助检测装置,其特征在于,所述控制单元还包括辅助控制单元,所述辅助控制单元用于根据所述检测结果得到所述灯管的升温速率,并判断出所述灯管是否需要更换。
4.如权利要求3所述的外延灯管辅助检测装置,其特征在于,所述辅助控制单元具有显示面板,以显示所述灯管的温度及升温速率。
5.如权利要求1所述的外延灯管辅助检测装置,其特征在于,所述主控制单元包括若干选择按键及一测试开关,通过所述选择按键选中需要进行测试的所述灯管,通过所述测试开关开启或关闭所述选择按键选中的所述灯管。
6.如权利要求3所述的外延灯管辅助检测装置,其特征在于,所述辅助控制单元集成于所述主控制单元内;或者,所述主控制单元与所述辅助控制单元可拆卸连接。
7.如权利要求1所述的外延灯管辅助检测装置,其特征在于,所述测温单元为测温传感器。
8.一种外延灯管辅助检测方法,其特征在于,所述方法包括如下步骤:
提供如权利要求1-7中任一项所述的外延灯管辅助检测装置;
控制单元选择并开启需要检测的灯管;
测温单元检测一设定时间内所述灯管的温度并将检测结果发送至所述控制单元;
所述控制单元根据所述检测结果得到所述灯管的升温速率,并通过所述升温速率判断所述灯管是否需要更换。
9.如权利要求8所述的外延灯管辅助检测方法,其特征在于,通过所述升温速率判断所述灯管是否需要更换的步骤为,所述升温速率在一设定范围内,则所述灯管不需要更换,反之,所述升温速率超出所述设定范围,则所述灯管需要更换。
10.如权利要求9所述的外延灯管辅助检测方法,其特征在于,确定所述设定范围的步骤为,将多个正常使用的灯管开启所述设定时间并得到多个升温速率,通过所述多个升温速率得到所述设定范围。
11.如权利要求10所述的外延灯管辅助检测方法,其特征在于,所述升温速率为所述设定时间内所述灯管的温度的最大值及最小值之间的差值与所述设定时间的比值。
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