[发明专利]用于SAW谐振、反谐振频率测量的控温装置及控温方法

权利要求书

1.一种用于SAW谐振、反谐振频率测量的控温装置，其特征在于，包括：

精密阻抗分析仪(1)，所述精密阻抗分析仪(1)的测试端(11)放置有待测的SAW器件；

保温仓(2)，包括箱体(21)和控制所述箱体(21)内部温度的温度控制器(22)，所述精密阻抗分析仪(1)的测试端(11)与所述箱体(21)的内壁连接；

温度采集单元，包括置于所述箱体(21)内部的第一温度传感器(31)和靠近所述精密阻抗分析仪(1)的测试端(11)的第二温度传感器(32)。

2.根据权利要求1所述的用于SAW谐振、反谐振频率测量的控温装置，其特征在于，所述箱体(21)的侧壁包括内侧壁和外侧壁，所述内侧壁与所述外侧壁间隔设置，且所述内侧壁与所述外侧壁之间铺设有导热管(23)，所述导热管(23)与所述温度控制器(22)连接。

3.根据权利要求2所述的用于SAW谐振、反谐振频率测量的控温装置，其特征在于，所述导热管(23)为铜管，所述铜管的两端均穿过所述箱体(21)的外侧壁，并置于所述箱体(21)的外侧。

4.根据权利要求2所述的用于SAW谐振、反谐振频率测量的控温装置，其特征在于，所述温度控制器(22)包括可调低温恒温槽，所述低温恒温槽内设有液体，且液体通过进液管和储出液管能在所述导热管(23)内循环流动，所述箱体(21)内的温度设定为10-85℃。

5.根据权利要求2所述的用于SAW谐振、反谐振频率测量的控温装置，其特征在于，所述内侧壁与所述外侧壁之间填充有保温棉，所述内侧壁由铜或铝制作而成。

6.根据权利要求1所述的用于SAW谐振、反谐振频率测量的控温装置，其特征在于，还包括控制单元，所述控制单元包括主控制器，所述主控制器分别与所述精密阻抗分析仪(1)、所述温度控制器(22)、所述第一温度传感器(31)和所述第二温度传感器(32)电连接。

7.根据权利要求6所述的用于SAW谐振、反谐振频率测量的控温装置，其特征在于，所述控制单元还包括能设定所述SAW器件的预测量温度的上位机，所述上位机与所述控制器电连接。

8.根据权利要求1所述的用于SAW谐振、反谐振频率测量的控温装置，其特征在于，所述精密阻抗分析仪包括外壳、触摸屏、阻抗分析电路板、控制开关和接插口，所述触摸屏、控制开关和接插口分布在所述外壳的正面板上，所述阻抗分析电路板位于外壳内，并分别与所述触摸屏、控制开关和接插口相连接。

9.根据权利要求8所述的用于SAW谐振、反谐振频率测量的控温装置，其特征在于，所述外壳包括正面板、背面板、上壳体、下壳体和连接板，所述上壳体和下壳体通过连接板相连接形成具有内部空间的腔体，所述正面板和背面板相应设置在腔体的前后两端；

所述下壳体上设有安装柱，该安装柱的上端面上设有螺纹孔，并在所述阻抗分析电路板上设有与该螺纹孔相适配的安装孔；

所述阻抗分析电路板包括PCB基板及设置在该PCB基板上的电源模块、扫频信号生成模块、阻抗匹配模块、被测网络模块、采集电路模块和控制单元，该控制单元分别与所述电源模块、扫频信号生成模块、阻抗匹配模块、被测网络模块和采集电路模块相连接。

10.一种控温方法，其特征在于，应用于权利要求1-9任一项所述的用于SAW谐振、反谐振频率测量的控温装置中，其包括以下步骤：

将SAW器件放置在精密阻抗分析仪(1)的测试端(11)；

启动温度控制器(22)，并使保温仓(2)的箱体(21)内的温度升温，且保持一定的温度；

将第一温度传感器(31)采集的温度值与第二温度传感器(32)采集的温度值进行比较，直至使二者的差值小于设定的误差值；

精密阻抗分析仪(1)采集SAW器件的谐振、反谐振频率。