[发明专利]一种基于三F-P标准具的高精度波长测量装置

权利要求书

1.一种基于三F-P标准具的高精度波长测量装置，其特征在于：待测光束经过一分二光纤耦合器（1）等分成两束光分别入射到光纤①和光纤②，通过光纤①的出射光束直接由第一光电探测器（17）接收；进入光纤②的光束经由一分四光纤耦合器（2）等分成四束光分别入射到光纤③、光纤④、光纤⑤和光纤⑥，光纤③中的光束经第一多光纤准直器（3）后出射的光束⑩照射到被第一旋转台（9）转动一定角度后的第一F-P标准具（6）上，光纤③中的光束在经过第一F-P标准具（6）产生的透射光⑬被第一单光纤准直器（14）接收并传递至第二光电探测器（18），光纤③中光束在经过第一F-P标准具（6）产生的反射光⑯照射到第一多光纤准直器（3）上，再经过光纤⑦传递到第三光电探测器（19）上；光纤④中的光束经第二多光纤准直器（4）后出射的光束⑪垂直照射到被第二旋转台（10）转动一定角度后的第二F-P标准具（7）上，光纤④中的光束在经过第二F-P标准具（7）产生的透射光⑭被第二单光纤准直器（15）接收并传递至第四光电探测器（20），光纤④中的光束在经过第二F-P标准具（7）产生的反射光⑰照射到第二多光纤准直器（4）上，再经过光纤⑧传递到第五光电探测器（21）上；光纤⑤中的光束经第三多光纤准直器（5）后出射的光束⑫同样照垂直射到被第三旋转台（11）转动一定角度后的第三F-P标准具（8）上，光纤⑤中的光束经过第三F-P标准具（8）产生的透射光⑮被第三单光纤准直器（16）接收并传递至第六光电探测器（22），光纤⑤中的光束经过第三F-P标准具（8）产生的反射光⑱照射到第三多光纤准直器（5）上，再经过光纤⑨传递到第七光电探测器（23）上；光纤⑥中的光束经由线性滤波器（12）传递到第八光电传感器（24）；第一光电传感器（17）至第八光电传感器（24）采集到的信号经由数据采集卡（25）采集并上传到计算机（26）进行分析和计算；该系统中，第一多光纤准直器（3）、第二多光纤准直器（4）、第三多光纤准直器（5）、第一F-P标准具（6）、第二F-P标准具（7）、第三F-P标准具（8）、第一旋转台（9）、第二旋转台（10）、第三旋转台（11）、第一单光纤准直器（14）、第二单光纤准直器（15）、第三单光纤准直器（16）均放置在恒温箱（13）中。

2.根据权利要求1所述的一种基于三F-P标准具的高精度波长测量装置，其特征在于：旋转第二旋转台（10），令入射光⑪垂直于第二F-P标准具（7），并且旋转第三旋转台（11），令入射光⑫垂直于第三F-P标准具（8），同时通过调整第一旋转台（9）令入射光在第一F-P标准具（6）上有一定的入射角，使第一F-P标准具（6）的波长响应正弦曲线和第二F-P标准具（7）的波长响应正弦曲线产生90度的相位差。