[发明专利]一种带背光照明的衬底缺陷检测用回转工作台

权利要求书

1.一种带背光照明的衬底缺陷检测用回转工作台，其特征在于包括：底座、旋转台、圆环形转接板、背光照明装置、圆柱形连接支架和衬底定位装置；

所述旋转台的底端面与底座的上表面形成可拆卸的固定连接；所述旋转台的上表面与所述圆环形连接板连动连接；电机驱动旋转台带动所述圆环形连接板转动；

所述背光照明装置设置在圆环形连接板远离旋转台的一面，并且所述背光照明装置的出光方向为远离所述圆环形连接板的方向；所述背光照明装置远离圆环形连接板的一面通过所述圆柱形连接支架与所述衬底定位装置连接；

所述圆柱形连接支架将背光照明装置的出光照射在圆柱形连接支架内，并阻挡环境光进入圆柱形连接支架内。

2.根据权利要求1所述的一种带背光照明的衬底缺陷检测用回转工作台其特征在于：所述衬底定位装置包括多个呈同心圆排列的定位圆环托盘。

3.根据权利要求2所述的一种带背光照明的衬底缺陷检测用回转工作台，其特征在于：所述定位圆环托盘，在其内侧具有倾角为45°的倒角斜坡；所述定位圆环托盘的上表面靠近内圆处具有弧形凹槽，便于圆环托盘以及衬底的取放。

4.根据权利要求2所述的一种带背光照明的衬底缺陷检测用回转工作台，其特征在于：所述的定位圆环托盘上表面带有刻度，每一个定位圆环托盘的刻度沿着径向均匀间隔设置，并沿着周向间隔设置呈米字形，用于定位分析和读取衬底缺陷的相对位置，在测量过程中跟踪位置。

5.根据权利要求2所述的一种带背光照明的衬底缺陷检测用回转工作台，其特征在于：所述的定位圆环托盘内侧壁带有衬底定位边；所述的定位圆环托盘内侧壁带有圆环状台阶，用于支撑衬底。

6.根据权利要求1所述的一种带背光照明的衬底缺陷检测用回转工作台，其特征在于：所述的圆柱形连接支架，中间为空心结构，空心结构的内侧设有台阶，用于连接衬底定位装置和背光照明装置。

7.根据权利要求1所述的一种带背光照明的衬底缺陷检测用回转工作台，其特征在于：所述的背光照明装置的照明方式包括直下式背光照明、低角度照明和高角度照明，且均为均匀照明，根据衬底材料的缺陷类型，选取照明的方式。

8.根据权利要求7所述的一种带背光照明的衬底缺陷检测用回转工作台，其特征在于：所述的背光照明装置的光强调节方式包括对整个照明装置的区域调节，整个照明装置按照“米”字型，平均分成8个区域，每个区域均设有档位开关，根据被测衬底的材料以及缺陷的类型、方位，选取照明的强度以及角度。

9.根据权利要求1所述的一种带背光照明的衬底缺陷检测用回转工作台，其特征在于：所述的圆环形转接板，通过沉孔固定所述的背光照明装置以及旋转台，减少回转过程中的转动。

10.根据权利要求1所述的一种带背光照明的衬底缺陷检测用回转工作台，其特征在于：所述的可拆卸底座的两侧带有梯形凹槽，便于手动取放工作台。

11.根据权利要求1所述的带背光照明的衬底缺陷检测用回转工作台，其特征在于：所述的衬底为透明/半透明的圆形晶片，衬底的尺寸为目前的主流尺寸：2英寸、4英寸、6英寸、8英寸，但不限于这四种尺寸。